[发明专利]一种用于太阳能电池的钝化介质膜

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述钝化介质膜是由第一介质膜组成的单层结构，或所述钝化介质膜是由第一介质膜和第二介质膜组成的迭层结构，其中第一介质膜与硅基体材料直接相接触，第二介质膜沉积在第一钝化膜上。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述第一介质膜为具有固定负电荷的金属氧化物。

3.根据权利要求2所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述金属氧化物为氧化铝。

4.根据权利要求1或2或3所述的用于太阳能电池的钝化膜，其特征是：所述第一介质膜的厚度为3-200nm。

5.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述第二介质膜为氮化硅、碳化硅、氧化硅或氧化钛单层膜，或所述第二介质膜为氮化硅、碳化硅、氧化硅和氧化钛中的两种或两种以上组成的复合膜。

6.根据权利要求5所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述第二钝化膜的厚度为3-200 nm,，折射率为0.8-3.0。

7.根据权利要求1任一项所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述第一介质膜和第二介质膜包括采用原子层沉积ALD、化学气相沉积CVD、等离子化学气相沉积PECVD、金属有机物化学气相沉积MOCVD或分子束外延生长MBE方法制备获得，其中制备第一钝化膜时所采用的反应气体至少包含一种含铝化合物，所述含铝化合物包括Al(CH3)₃、AlCl₃、Al(CH3)₂Cl或(CH₃)₂C₂H₅N:AlH₃。

8.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述钝化介质膜设置于太阳能电池的受光面或设置于太阳能电池的背光面。

9.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：所述硅基体材料的表面形貌为抛光面或绒面结构，其中抛光面结构采用化学溶液腐蚀形成，所述的化学溶液为KOH或NaOH水溶液，其质量百分含量为10~40%，温度为50~90℃；或所述的化学溶液为四甲基氢氧化铵或乙二胺水溶液，其质量百分含量为10~30%，温度为50~90℃；其中所述绒面结构采用化学溶液腐蚀制备获得，所述化学溶液为NaOH水溶液，其质量百分含量为0.5~5%，在75~90℃的温度下通过表面织构化形成。

10.根据权利要求9所述的用于太阳能电池的钝化介质膜，其特征是：在表面形貌为抛光面或绒面结构的硅基体材料上沉积第一介质膜之前，对硅基体材料表面进行清洗，清洗采用氢氟酸、硝酸、盐酸或硫酸以及含有添加剂的氢氟酸、硝酸、盐酸或硫酸，清洗时间为0.5-60分钟，温度为5~90℃。