[发明专利]一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法

权利要求书

1.一种高精度光学元件的装配装置，其特征是，该装置包括柔性支撑结构(3)和装夹工具(9)，所述装夹工具(9)包括装夹侧板(5)和定位销钉(6)，柔性支撑结构(3)上设置第一定位销孔(7)和片体结构(8)，柔性支撑结构(3)的顶部设置锥形接触面(3-1)，装夹侧板(5)上设置第二定位销孔(10)，所述柔性支撑结构(3)上的第一定位销孔(7)与装夹侧板(5)上的第二定位销孔(10)通过定位销钉(6)定位，所述装夹工具(9)与柔性支撑结构(3)组成刚性支撑组件。

2.应用权利要求1所述的高精度光学元件的装配装置对高精度光学元件进行无应力装配的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：

步骤一、检测中间件(2)的接触球在光学元件(1)上的位置；

步骤二、将三个刚性支撑组件放置在支撑盘(4)上，检测刚性支撑组件中的柔性支撑结构顶部的锥形接触面(3-1)与中间件(2)的接触球的位置是否对应；如果是，则执行步骤三；如果否，则调整刚性支撑组件的位置；

步骤三、将光学元件(1)放置在刚性支撑组件上，刚性支撑组件中的柔性支撑结构(3)顶部的锥形接触面(3-1)和中间件(2)的接触球之间相互接触；

步骤四、拆除装夹工具(9)中的定位销钉(6)，然后拆除柔性支撑结构(3)两侧的装夹侧板(5)；

步骤五、检测光学元件(1)面形，如果光学元件(1)的面形精度小于0.2nmrms，则完成光学元件(1)的无应力装配，否则，重复步骤二至步骤四，直至完成光学元件(1)的无应力装配。