[发明专利]一种微水柱导引激光微细加工装置

权利要求书

1.一种微水柱导引激光微细加工装置，其包括支撑套管（1）、水箱（7）、喷嘴（9）和光学聚焦透镜（16）；其特征在于：在所述支撑套管（1）中通过透镜座（15）水平安装光学聚焦透镜（16），透镜座（15）与支撑套管（1）上的Z方向喷嘴孔中心调节机构连接；在所述支撑套管下端口安装水箱（7），所述水箱通过进水管接头（12）连接高压水系统；所述水箱的顶端正中为石英窗户（14），正对支撑套管下端口中心，水箱的底端正中设置喷嘴（9），光学聚焦透镜的聚焦点正好落在喷嘴的微孔中心；所述水箱还与支撑套管（1）上的水平X和Y方向喷嘴孔中心调节机构连接。

2.根据权利要求1所述的微水柱导引激光微细加工装置，其特征在于：所述Z方向喷嘴孔中心调节机构包括调节螺钉（2）、调节螺母（3）和锁紧螺母（4）；在支撑套管（1）的管壁上设置周向均匀分布三个调节窗，所述调节螺钉（2）从调节窗伸进管内，连接光学聚焦透镜的透镜座（15），调节螺钉（2）外端装配在调节螺母（3）的内环槽中，调节螺母（3）螺纹装配在支撑套管上，并由锁紧螺母（4）锁紧。

3.根据权利要求1或2所述的微水柱导引激光微细加工装置，其特征在于：所述水平X和Y方向喷嘴孔中心调节机构包括支撑块（5）、微调螺钉（6）和固定螺钉（13），所述支撑块（5）竖向固定在支撑套管下端口的侧边，且位于水箱的外侧；所述微调螺钉（6）水平连接在支撑块上，有四个，两两相对设置在水平X方向和Y方向，顶端抵触水箱侧壁；所述固定螺钉（13）轴向连接并固定水箱和支撑套管。