[发明专利]单片集成复合量程矢量水听器无效
| 申请号： | 201110334236.5 | 申请日： | 2011-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102426054A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 张文栋;张国军;熊继军;薛晨阳;刘林仙;葛晓洋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单片 集成 复合 量程 矢量 水听器 | ||
1.一种单片集成复合量程矢量水听器，其特征在于：包括田字形支架（1），弹性梁（2）以及通过弹性梁（2）分别支悬于田字形支架（1）的四个小框体中部的质量块（3），每个质量块（3）的四边分别通过一根弹性梁（2）与田字形支架（1）固定，每根弹性梁（2）的端部和根部分别集成有一个阻值相等的压敏电阻（4），且位于X方向的两根弹性梁（2）上的四个压敏电阻（4）组成一个惠斯通电桥，位于Y方向的两根弹性梁（2）上的四个压敏电阻（4）组成一个惠斯通电桥；四个X方向的惠斯通电桥之间采用并联设置，四个Y方向的惠斯通电桥之间采用并联设置；四个质量块（3）中部分别垂直设有一根直径相同的纤毛柱体：第一纤毛柱体（5）、第二纤毛柱体（6）、第三纤毛柱体（7）和第四纤毛柱体（8），四根纤毛柱体同侧设置且长度关系为第一纤毛柱体（5）﹥第二纤毛柱体（6）﹥第三纤毛柱体（7）﹥第四纤毛柱体（8），第一纤毛柱体（5）和第二纤毛柱体（6）对角线设置，第三纤毛柱体（7）和第四纤毛柱体（8）对角线设置，四个纤毛柱体的密度与水密度相同或相近。
2.根据权利要求1所述的单片集成复合量程矢量水听器，其特征在于：所述的弹性梁（2）和质量块（3）采用SOI材料经过现有的MEMS微机械工艺加工而成；所述的压敏电阻（4）采用P型硅电阻条，电阻条按[110]晶向布置，且该压敏电阻（4）通过现有的扩散工艺加工而成。
3.根据权利要求1或2所述的单片集成复合量程矢量水听器，其特征在于：所述的弹性梁（2）的梁长为800μm、梁宽为200μm、梁厚为30μm；质量块（3）的边长为300μm；第一纤毛柱体（5）长20000μm，第二纤毛柱体（6）长10000μm、第三纤毛柱体（7）长6000μm、第四纤毛柱体（8）长3000μm，各纤毛柱体的半径为100μm。
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