[发明专利]辐射检测元件、辐射检测模块及辐射图像诊断设备

权利要求书

1.一种辐射检测元件，包括：

衬底上的闪烁体层，

其中，所述闪烁体层包括多个柱形结晶，所述多个柱形结晶在每一侧基本不具有不平整。

2.根据权利要求1所述的辐射检测元件，其中，沿着所述柱形结晶的生长方向，任意部分上的突起与凹陷之间的差异为1μm或更小。

3.根据权利要求1所述的辐射检测元件，其中，所述多个柱形结晶之间，柱直径的差异为30％或更小。

4.根据权利要求1所述的辐射检测元件，其中，所述多个柱形结晶在所述闪烁体层中的密度分布是均匀的。

5.根据权利要求1所述的辐射检测元件，其中，所述多个柱形结晶各自具有40度或更小倾斜角的顶端。

6.根据权利要求1所述的辐射检测元件，其中，所述闪烁体层中的中央部分与外周部分之间的膜厚差异为10％或更小。

7.根据权利要求1所述的辐射检测元件，其中，所述闪烁体层通过下述方式形成：把通过施加热量而蒸发的沉积材料引导到具有多个释放孔的沉积用容器，并把沉积材料从所述多个释放孔蒸镀到所述衬底上。

8.根据权利要求1所述的辐射检测元件，其中，所述闪烁体层包括碘化铯(CsI)。

9.一种辐射检测模块，包括：

辐射检测元件，该元件具有衬底上的闪烁体层；以及

光电变换器，其把由所述辐射检测元件转换的光变换为电信号，

其中，所述闪烁体层包括多个柱形结晶，所述多个柱形结晶在每一侧基本不具有不平整。

10.一种辐射图像诊断设备，包括：

辐射源装置，其产生辐射；以及

辐射检测器，其具有辐射检测元件和光电变换器，所述光电变换器把由所述辐射检测元件转换的光变换为电信号，

其中，所述辐射检测元件具有衬底上的闪烁体层，并且

所述闪烁体层包括多个柱形结晶，所述多个柱形结晶在每一侧基本不具有不平整。

11.一种制造辐射检测元件的方法，所述方法包括：

把沉积材料加热并蒸发；

把所蒸发的沉积材料引导到具有多个释放孔的沉积用容器；以及

通过从所述多个释放孔释放所蒸发的沉积材料并将所释放的沉积材料蒸镀到所述衬底上，来形成闪烁体层，所述闪烁体层包括多个柱形结晶，所述多个柱形结晶在每一侧基本不具有不平整。