[发明专利]一种三明治结构复合纳米压印模板及其制备方法

权利要求书

1.一种三明治结构复合纳米压印模板，其特征在于，所述模板由三层不同力学性能的材料组成，分别为塑性的支撑层，弹性的缓冲层以及刚性的压印结构层；所述弹性的缓冲层被夹心在塑性的支撑层与刚性的压印结构层之间，形成三明治结构；所述三明治结构的上中下三层之间通过粘接或化学键合紧密连接。

2.根据权利要求1所述的一种三明治结构复合纳米压印模板，其特征在于，所述塑性的支撑层是玻璃化转变温度在室温以上、透紫外光、膜厚在0.1到0.2毫米之间的热塑性高分子膜，如聚甲基丙烯酸甲酯薄膜、PET聚酯薄膜、聚酰亚胺薄膜、聚苯乙烯薄膜等。

3.根据权利要求1所述的一种三明治结构复合纳米压印模板，其特征在于，所述刚性的压印结构层的材料为丙烯酸酯接枝的聚硅氧烷、环氧基团接枝的聚硅氧烷或乙烯基醚接枝的聚硅氧烷。

4.根据权利要求3所述的一种三明治结构复合纳米压印模板，其特征在于，所述刚性压印结构层的下表面键合一层低表面能氟化有机小分子或高分子防粘层。

5.根据权利要求1所述的一种三明治结构复合纳米压印模板，其特征在于，所述弹性的缓冲层为苯乙烯与丁二烯、异戊二烯组成的共聚物弹性体、氯丁基橡胶-苯乙烯接枝共聚弹性体、乙丙橡胶-苯乙烯接枝共聚弹性体、聚氨酯弹性体、聚酯弹性体或聚硅氧烷弹性体，优选链段中含硅的聚硅氧烷弹性体。

6.一种如权利要求1所述的三明治结构复合纳米压印模板的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤：首先制备柔性的弹性体缓冲层；然后通过氧气等离子体或臭氧对塑性支撑层和弹性体缓冲层表面分别进行处理，再将缓冲层与支撑层紧密结合；最后在由石英、硅片或玻璃制成的纳米图案的压印母模板上，通过旋转涂膜，形成均匀的可固化预聚物薄膜，然后将缓冲层的一面覆盖于母模板上，紫外光曝光后，分离母模板，得到所述三明治结构的纳米压印复合模板。

7.利用如权利要求1所述的三明治结构复合纳米压印模板的工艺，其特征在于该工艺包括以下步骤：

（1）利用匀胶机在所需衬底上均匀涂覆上一层一定厚度的压印胶；

（2）将所述的三明治结构复合纳米压印模板平铺于衬底上；

（3）施加压力固化压印胶，此过程可以通过两种方法实现：

a)在模板的支撑层上施加一定压力，并同时用紫外汞灯曝光；

b)在模板的支撑层上施加一定压力，撤去压力，再用紫外汞灯曝光；

（4）揭下模板，完成压印过程；

（5）利用刻蚀设备将压印的结构转移至衬底上。