[发明专利]异物检查装置及异物检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及异物检查装置及异物检查方法。

背景技术

例如，在检查附着在集成电路的导线间的焊锡球、模屑、纤维屑等异物时，以往的检查装置执行拍摄基板并实施图像处理的方法。例如，专利文献1所公开的异物检查装置中，将AD(analog-digital，模拟-数字)转换而得的数字图像微分并加以二值化之后，根据二值化的图像数据，测量基板的与导线长度方向平行的方向的“1”的值而生成测量数据，进而将该测量数据二值化而生成投影二值化数据。在判定产品合格与否时，对投影二值化数据的“0”与“1”的所有连续数进行计数，只要存在预先设定的“0”与“1”的连续数各自的上限值与下限值的范围外的连续数，即使只有一个，即判定为附着有异物。

在从AD转换而得的图像直接二值化时，难以检测反射率较低的异物部分及透射率较高的异物部分，针对此问题，专利文献1所公开的技术中，通过图像数据的微分处理而强调边缘，因而在其后的处理中促进异物部分的检测。

专利文献1：日本专利公开公报特开平7-128249号

然而，专利文献1的结构中，基板的导线也以与异物相同的值进行评估，因此在异物与导线重叠时或异物形状沿着导线时等，难以检测异物的边缘，从而无法切实地执行异物检测。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种可更切实地检测异物的异物检查装置及异物检查方法。

为解决上述课题，本发明提供一种异物检查装置，检查实施了包含印刷处理在内的表面处理的基板上是否有异物，其特征在于包括：摄像装置，拍摄所述基板并输出模拟信号；AD转换装置，将输出的模拟信号转换为数字图像；像素群设定装置，针对转换而得的数字图像的每一像素而设定包含该像素的小区域的像素群；亮度确认值运算装置，针对所述每一像素而运算表示所述像素群中的各像素的亮度值的偏差程度的量作为该像素的亮度确认值；以及判定装置，基于所述亮度确认值而判定是否存在异物。

该形态下，亮度确认值运算装置运算表示像素群中的各像素的亮度值的偏差程度的量作为亮度确认值。在各像素为产品的像素时，边界的变化量较大，因此偏差量收敛至0，相对于此，在为异物的像素时，因该异物的辉度层次(gradient)而分散为各种值。其结果是，易于仅抽取异物部分的像素，从而可切实地检测异物。

较为理想的是，所述判定装置对各像素的亮度确认值进行三值化处理。该形态下，产品部分的亮度确认值进一步收敛至0，从而可突出异物的亮度确认值。此外，较为理想的是还包括对运算出的亮度确认值进行中值(midian)处理的中值处理装置。

较为理想的是，异物检查装置包括：显示装置，显示所述基板图像；以及GUI(graphical user interface，图形用户界面)处理装置，在所述判定装置判定为异物时，以窗口包围所述显示装置所显示的图像中属于异物的部位。该形态下，可易于目视确认地显示异物的判定结果。

较为理想的是，所述判定装置在具有偏差程度较大的亮度确认值的像素的块达到指定面积时判定为异物。该形态下，可除去噪点而仅判别需要检测的异物。本发明中，针对每一像素而设定亮度确认值，因此根据亮度确认值的不同，也有可能会判定噪点或不易与异物区分开者为异物。在具有偏差程度较大的亮度确认值的像素的块为指定面积时，可切实地识别该噪点等为异物。作为面积的评估方法，例如，可根据指定大小(5像素×8像素)区域是否内切于具有偏差程度较大的亮度确认值的像素的块而进行判定。或者，也可根据4像素×3像素区域是否在具有偏差程度较大的亮度确认值的像素的块的范围内移动而进行判定，并基于该移动距离或移动范围的面积而判定合格与否。此外，作为其他方法，也可使5像素×8像素区域的长方形倾斜而判定是否内切于具有偏差程度较大的亮度确认值的像素的块。此外，用于对具有偏差程度较大的亮度确认值的像素的块进行评估的像素区域并不限定于长方形。在采用上述方法的情况下，在预先知道异物形状时尤为有效。

较为理想的是，所述亮度确认值运算装置，针对每一像素运算包含该像素的所述像素群的各像素的亮度值与各像素的亮度值的平均值的差的绝对值的总和作为所述亮度确认值。该形态下，可使用能比较快地运算的参数获得高精度的亮度确认值。

较为理想的是，所述亮度确认值运算装置忽略所述像素群所涉及的像素的亮度值的最小值与最大值而运算表示偏差程度的量。该形态下，在亮度确认值运算步骤的阶段，在统计上忽略导致产生噪点的像素的亮度值的最大值与最小值，因此判定步骤中的运算变得快速、简单。