[发明专利]LTCC叠片方法有效
申请号: | 201110328043.9 | 申请日: | 2011-10-26 |
公开(公告)号: | CN102501557A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 濮嵩;杨述洪;刘昕;高亮;高鹏 | 申请(专利权)人: | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
主分类号: | B32B37/12 | 分类号: | B32B37/12;B32B37/10;B32B38/10;B32B38/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215163 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ltcc 方法 | ||
技术领域
本发明涉及叠片技术,特别是,涉及一种LTCC叠片技术。
背景技术
随着电子产品对性能、功能、成本、可靠性、小型化等要求越来越高,促进了LTCC技术长足进步,低温共烧陶瓷技术在微波领域应用越来越广泛,对产品性能的一致性也越来越高,这就对生瓷材料的层间对准要求提出更高的要求。
″LTCC工艺一直为国内LTCC生产制造的主流工艺,加工周期短,生产过程易控制是其加工优点。LTCC工艺的主要材料是生瓷片,生瓷片在其流延后附着在一层聚脂膜上,可以对生瓷片在生产加工中的收缩性起抑制作用。故其加工方式一般分带膜工艺和不带膜工艺。不带膜工艺在生产加工过程中其收缩难控制,多层叠片后其层间对准效果差,在LTCC生产中,越来越多的LTCC制造商选择使用带膜工艺,但5.12″LTCC工艺叠片一般使用叠片台完成,在叠片前还需要将生瓷片背面的聚脂膜分离后才能进行叠片,分离过程中,生瓷片存在瞬间收缩变形,也会影响LTCC的层间对准效果。
另外,含腔体的产品在加工过程中其腔体精度一直是加工难点,当生瓷片多层叠加后,其腔体边缘会因层间的收缩产生错位,造成腔体精度差。
发明内容
本发明的目的是提供一种层间对准精度能够满足微波要求、保证含腔体的LTCC基板的腔体精度要求的LTCC叠片方法。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
一种LTCC叠片方法,其利用四角带有定位销钉的叠片台进行叠片,步骤包括:
a、在叠片台上放置一层聚脂膜,且其光面向上,
b、将四角带有定位孔的顶层生瓷片放置在步骤a中的聚脂膜上,使该顶层生瓷片的聚脂膜向上,并确保所述的顶层生瓷片的定位孔一一对应套在所述的定位销钉上,
c、将顶层生瓷片上的聚脂膜的一角挑离其所在的定位销钉,顶层生瓷片保留在该定位销钉上,
d、保持顶层生瓷面的位置,沿平行于生瓷面表面的方向、向对角方向撕下其上的聚脂膜,
e、将四角带有定位孔的次层生瓷片以其聚脂膜向上的方式对齐放置于步骤d中得到的顶层生瓷片上,且使次层生瓷片上的定位孔一一对应套在所述的定位销钉中,
f、重复步骤c、d的动作将所述的次层生瓷片上的聚脂膜撕下,
g、重复步骤e、f,将剩余其他四角带有定位孔的生瓷片一一按序进行叠片。
另一种LTCC叠片方法,其利用四角带有定位销钉的叠片台进行叠片,步骤包括:
i、在叠片台上放置一层聚脂膜,且其光面向上,将四角带有定位孔的顶层生瓷片放置在所述的聚脂膜上,使该顶层生瓷片的聚脂膜向上,并确保所述的顶层生瓷片的定位孔一一对应套在所述的定位销钉上,将顶层生瓷片上的聚脂膜的一角挑离其所在的定位销钉,顶层生瓷片保留在该定位销钉上,保持顶层生瓷面的位置,沿平行于生瓷面表面的方向、向对角方向撕下其上的聚脂膜,
ii、在i中处理过的顶层生瓷片的图形区域的外围均匀涂抹叠片胶,
iii、将四角带有定位孔的次层生瓷片以其聚脂膜向上的方式对齐放置于步骤ii中得到的顶层生瓷片上,且使次层生瓷片上的定位孔一一对应套在所述的定位销钉中,
iv、利用压力装置将步骤iii中的次层生瓷片与顶层生瓷片之间压紧,使二者时间的叠片胶将二者粘合,
v、用与步骤i中的顶层生瓷片的去聚脂膜相同的方法将次层生瓷片上的聚脂膜去脱掉,
vi、重复步骤iii、iv、v,将剩余其他四角带有定位孔的生瓷片一一按序进行叠片。
其中,步骤iv中的压力装置包括覆盖在所述的次层生瓷片上的大小适配的压板及对所述的压板进行施压机构。
其中,所述的施压机构为压平机。
本发明现对于现有技术的有益效果在于:针对不同特性的生瓷片选用使用叠片胶和不使用叠片胶的方法进行叠片,层间对准精度大幅度提高,可以提升至30μm以内;解决了生瓷片因收缩变形产生的叠片定位不准,可以满足微波产品的要求;解决了含腔体的LTCC基板腔体的精度问题。
附图说明
附图1为本发明的LTCC碟片方法所用的叠片台的结构示意图;
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