[发明专利]中红外多波长材料折射率的测量装置及其测量方法无效
申请号: | 201110327127.0 | 申请日: | 2011-10-25 |
公开(公告)号: | CN102323238A | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 谢国强;马杰;高文兰;钱列加;张怀金 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 红外 波长 材料 折射率 测量 装置 及其 测量方法 | ||
1.一种中红外波长材料折射率的测量装置,特征在于其构成包括激光二极管(1)、光束整形装置(2)、输入镜(3)、激光晶体(4)、球面高反镜(5)、棱镜对(6)、狭缝(7)、输出耦合镜(8)、法拉第隔离器(9)、半透半反镜(10)、可调光阑(11)、精密旋转台(13)、光谱仪(14)和双通道功率计(15),各元件的连接关系是:沿光路依次是所述的激光二极管(1)、光束整形装置(2)、输入镜(3)、激光晶体(4)和球面高反镜(5),所述的球面高反镜(5)将输入光分为第一反射光束和第一透射光束,第一透射光束进入所述的光谱仪(14),沿第一反射光束光路依次是所述的棱镜对(6)、狭缝(7)、输出耦合镜(8)、法拉第隔离器(9)和半透半反镜(10),所述半透半反镜(10)将其输入光分为第二反射光束和第二透射光束,第二透射光束被所述的双通道功率计(15)的第一探头接收,第二反射光束经所述的可调光阑(11)垂直入射到待测材料(12)上,并沿原路返回,经可调光阑(11)后再次入射到半透半反镜(10)上,半透半反镜(10)将其分为第三反射光束和第三透射光束,第三反射光束被所述的法拉第隔离器(9)隔离,第三透射光束被所述的双通道功率计(15)的第二探头接收。
2.根据权利要求1所述的中红外波长材料折射率的测量装置,其特征在于所述的激光晶体(4)为Tm:CLNGG。
3.根据权利要求1所述的中红外波长材料折射率的测量装置,其特征在于所述的待测材料有一个不小于3mmх3mm的光学抛光表面即可进行测量。
4.一种利用权利要求1所述的中红外波长材料折射率的测量装置的测量方法,其特征在于该方法包括以下步骤:
准备待测材料,使其具有一个不小于3mmх3mm的光学抛光面,同时测量半透半反镜(10)在装配角度下不同波长的功率反射率 ;
将待测材料固定于精密旋转台(13)上,调整可调光阑(11)和精密旋转台(13),使入射光垂直入射到待测材料的光学抛光面;
分别在双通道功率计(15)的第一通道上读出功率值P1,在双通道功率计(15)的第二通道上读出功率值P2,在光谱仪(14)读出波长值并记录相应数据;
逐步改变狭缝7的位置,对激光输出波长在光谱范围内进行连续调谐,并重复第②、③步骤,记录下不同激光波长下对应的功率数据P1 和P2;
利用半透半反镜(10)在装配角度下不同波长的功率反射率、不同激光波长下测得的功率数据P1 和P2以及公式计算出不同中红外激光波长下待测材料的折射率数据,进一步拟合得到待测材料的色散曲线。
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