[发明专利]一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块

权利要求书

1.一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块，其特征在于该单元模块包括上地电极、下地电极、围框、支撑介质丝、介质板、上高压电极板、下高压电极板、高压引线和高压端子；所述的上地电极和下地电极中各设有水冷通道，上地电极和下地电极的两平面部分别带有凸台，在上地电极和下地电极的两侧分别形成工作表面；所述的围框通过上地电极和下地电极两端部的凸台固定在上地电极和下地电极之间，围框呈环状，被相邻地电极的凸台固定后包围形成封闭腔体，围框的两端分别设有进气道和出气道；所述的介质板的一侧为工作面，该工作面通过支撑介质丝紧贴在地电极的工作面上，介质板一侧的工作面与地电极的工作面之间形成工作气隙；所述的上高压电极和下高压电极板分别紧贴在相应的介质板上；支撑介质丝、介质板和上、下高压电极组成上、下两个高压组件，上、下两个高压组件置于由上、下地电极和围框形成的封闭腔体中，封闭腔体中充满弹性介质充填物，弹性介质充填物将两个高压组件压紧在相应的上、下地电极的工作表面上；所述的高压端子固定在围框上，所述的高压引线的一端与上、下高压电极固定，另一端与高压端子连接。

2.一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块，其特征在于该单元模块包括上地电极、下地电极、围框、支撑介质丝、介质板、上高压电极板、下高压电极板、高压引线和高压端子；所述的上地电极和下地电极中各设有水冷通道，上地电极和下地电极的两平面部分别带有凸台，在上地电极和下地电极的两侧分别形成工作表面；所述的围框通过上地电极和下地电极两端部的凸台固定在上地电极和下地电极之间，围框呈环状，被相邻地电极的凸台固定后包围形成封闭腔体，围框的两端分别设有进气道和出气道；所述的介质板的一侧为工作面，该工作面通过支撑介质丝紧贴在地电极的工作面上，介质板一侧的工作面与地电极的工作面之间形成工作气隙；所述的上高压电极和下高压电极板分别紧贴在相应的介质板上；支撑介质丝、介质板和上、下高压电极组成上、下两个高压组件，上、下两个高压组件置于由上、下地电极和围框形成的封闭腔体中，封闭腔体中的两端充满弹性介质充填物；所述的上高压电极板和下高压电极板之间设有波形金属弹性薄板；所述的高压端子固定在围框上，所述的高压引线的一端与上、下高压电极固定，另一端与高压端子连接。

3.一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块，其特征在于该单元模块包括上地电极、下地电极、围框、支撑介质丝、介质板、上高压电极板、下高压电极板、高压引线和高压端子；所述的上地电极和下地电极中各设有水冷通道，上地电极和下地电极的两平面部分别带有凸台，在上地电极和下地电极的两侧分别形成工作表面；所述的围框通过上地电极和下地电极两端部的凸台固定在上地电极和下地电极之间，围框呈环状，被相邻地电极的凸台固定后包围形成封闭腔体，围框的两端分别设有进气道和出气道；所述的介质板的一侧为工作面，该工作面通过支撑介质丝紧贴在地电极的工作面上，介质板一侧的工作面与地电极的工作面之间形成工作气隙；所述的上高压电极和下高压电极板分别紧贴在相应的介质板上；支撑介质丝、介质板和上、下高压电极组成上、下两个高压组件，上、下两个高压组件置于由上、下地电极和围框形成的封闭腔体中，封闭腔体中的两端充满弹性介质充填物；所述的上高压电极板和下高压电极板的表面设有同极性的钕铁硼恒磁涂层；所述的高压端子固定在围框上，所述的高压引线的一端与上、下高压电极固定，另一端与高压端子连接。

4.如权利要求1、2或3所述的低温等离子反应体的单元模块，其特征在于上、下地电极与围框相接触的表面涂有氟橡胶、硅橡胶或膨体四氟乙烯。

5.如权利要求1、2或3所述的低温等离子反应体的单元模块，其特征在于地电极的工作面为金属或金属陶瓷膜，或贴覆不锈钢超薄板。

6.如权利要求1、2或3所述的低温等离子反应体的单元模块，其特征在于其中所述的弹性介质充填物由蜂窝结构耐臭氧高分子弹性材料制成。

7.如权利要求6所述的低温等离子反应体的单元模块，其特征在于其中所述的蜂窝结构耐臭氧高分子弹性材料为硅橡胶、氟橡胶或膨化四氟乙烯。

8.如权利要求1、2或3所述的低温等离子反应体的单元模块，其特征在于介质板为高铝陶瓷板或超薄玻璃板。

9.如权利要求1、2或3所述的低温等离子反应体的单元模块，其特征在于所述的高压电极的表面，涂覆有耐臭氧和耐爬电涂层或粘贴有超薄玻璃板。