[发明专利]压电振动片、压电振子以及加速度传感器

权利要求书

1.一种压电振动片，该压电振动片由Z切割压电基板形成，具有：弯曲振动的振动臂；基部，其固定所述振动臂的纵长方向的一端侧而将所述振动臂以悬臂状态支撑，所述振动臂的纵长方向的另一端侧为自由端，所述压电振动片的特征在于，

所述压电振动片具有在所述振动臂的+Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第一槽、和在所述振动臂的-Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第二槽，

所述第二槽的所述基部侧的端比所述第一槽的所述自由端侧的端靠近所述自由端侧。

2.如权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，

所述第一槽的深度和所述第二槽的深度相同。

3.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，

所述压电振动片具有设于所述振动臂的+Z面的第一电极膜和设于所述振动臂的-Z面的第二电极膜，所述第一电极膜比所述第二电极膜薄。

4.一种压电振子，其特征在于，

将权利要求1或2所述的压电振动片以所述基部为固定端以悬臂支撑状态安装于封装中。

5.一种加速度传感器，其特征在于，

将权利要求1或2所述的压电振动片以所述基部为固定端以悬臂支撑状态安装于封装中。