[发明专利]用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法及薄膜太阳能电池有效
申请号: | 201110322862.2 | 申请日: | 2011-10-21 |
公开(公告)号: | CN103065949A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 梅芳;赵军 | 申请(专利权)人: | 上方能源技术(杭州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/225 | 分类号: | H01L21/225;H01L31/04 |
代理公司: | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人: | 赵卫康 |
地址: | 311215 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 薄膜 太阳能电池 元素 掺杂 方法 | ||
1. 用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:在待掺杂的膜层表面放置含掺杂元素的粉末,使所述待掺杂的膜层的温度达到150~300℃并保持1~30min,然后移除剩余在所述待掺杂的膜层表面的所述粉末。
2. 根据权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述元素为铜,所述粉末为含铜的无机盐或有机盐粉末或金属铜粉。
3. 根据权利要求2所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述含铜的无机盐或有机盐粉末为CuCl、CuCl2、CuSO4、Cu(NO3)2、CuC2O4、Cu(C6H4NO2)2、Cu(CH3COO)2中的一种或两种以上粉末的混合物。
4. 根据权利要求1-3任一项所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述移除方法包括吹除、吸除或清洗。
5. 根据权利要求4所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述待掺杂的膜层的温度保持在180~240℃,时间为1~10min。
6. 如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法制备的薄膜太阳能电池,包括玻璃基板、透明导电氧化物层、窗口层、吸光层和背电极层,其特征在于:所述吸光层表面和内部被掺杂所述元素。
7. 根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述元素为铜,所述粉末为含铜的无机盐或有机盐粉末或金属铜粉末。
8. 根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述含铜的无机盐或有机盐粉末为CuCl、CuCl2、CuSO4、Cu(NO3)2、CuC2O4、Cu(C6H4NO2)2、Cu(CH3COO)2中的一种或两种以上粉末的混合物。
9. 根据权利要求6-8任一项所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述透明半导体氧化物层为FTO、AZO、ITO或CTO。
10. 根据权利要求6-8任一项所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述窗口层和所述吸光层为ZnO、ZnS、ZnSe、 ZnTe、CdO、CdS、CdSe、CdTe、CIGS、MgO、MgS、MgSe、MgTe、HgO、HgS、 HgSe、HgTe、MnO、MnS、MnTe、InSb、TiN、TiP、TiAs或TiSb 中的一种或两种组成的一层或两层以上结构。
11. 根据权利要求6-8任一项所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述背电极层是Au、Ag、Cu、Al、Cr、Ni、V、Mo、石墨以及它们的氧化物、氮化物、碳化物中的一种或两种以上组成的一层或两层以上结构。
12. 根据权利要求8所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述透明半导体氧化物层为FTO,所述窗口层为CdS,所述吸光层为CdTe,所述背电极层为MoOx、Al和Cr组成的三层结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造