[发明专利]用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法及薄膜太阳能电池有效

专利信息
申请号: 201110322862.2 申请日: 2011-10-21
公开(公告)号: CN103065949A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 梅芳;赵军 申请(专利权)人: 上方能源技术(杭州)有限公司
主分类号: H01L21/225 分类号: H01L21/225;H01L31/04
代理公司: 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 代理人: 赵卫康
地址: 311215 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 用于 薄膜 太阳能电池 元素 掺杂 方法
【权利要求书】:

1. 用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:在待掺杂的膜层表面放置含掺杂元素的粉末,使所述待掺杂的膜层的温度达到150~300℃并保持1~30min,然后移除剩余在所述待掺杂的膜层表面的所述粉末。

2. 根据权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述元素为铜,所述粉末为含铜的无机盐或有机盐粉末或金属铜粉。

3. 根据权利要求2所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述含铜的无机盐或有机盐粉末为CuCl、CuCl2、CuSO4、Cu(NO3)2、CuC2O4、Cu(C6H4NO2)2、Cu(CH3COO)2中的一种或两种以上粉末的混合物。

4. 根据权利要求1-3任一项所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述移除方法包括吹除、吸除或清洗。

5. 根据权利要求4所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法,其特征在于:所述待掺杂的膜层的温度保持在180~240℃,时间为1~10min。

6. 如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法制备的薄膜太阳能电池,包括玻璃基板、透明导电氧化物层、窗口层、吸光层和背电极层,其特征在于:所述吸光层表面和内部被掺杂所述元素。

7. 根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述元素为铜,所述粉末为含铜的无机盐或有机盐粉末或金属铜粉末。

8. 根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述含铜的无机盐或有机盐粉末为CuCl、CuCl2、CuSO4、Cu(NO3)2、CuC2O4、Cu(C6H4NO2)2、Cu(CH3COO)2中的一种或两种以上粉末的混合物。

9. 根据权利要求6-8任一项所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述透明半导体氧化物层为FTO、AZO、ITO或CTO。

10. 根据权利要求6-8任一项所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述窗口层和所述吸光层为ZnO、ZnS、ZnSe、 ZnTe、CdO、CdS、CdSe、CdTe、CIGS、MgO、MgS、MgSe、MgTe、HgO、HgS、 HgSe、HgTe、MnO、MnS、MnTe、InSb、TiN、TiP、TiAs或TiSb 中的一种或两种组成的一层或两层以上结构。

11. 根据权利要求6-8任一项所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述背电极层是Au、Ag、Cu、Al、Cr、Ni、V、Mo、石墨以及它们的氧化物、氮化物、碳化物中的一种或两种以上组成的一层或两层以上结构。

12. 根据权利要求8所述的薄膜太阳能电池,其特征在于:所述透明半导体氧化物层为FTO,所述窗口层为CdS,所述吸光层为CdTe,所述背电极层为MoOx、Al和Cr组成的三层结构。

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