[发明专利]使用双光子吸收的激光辅助设备改造

权利要求书

1.一种用于在被测设备(DUT)中执行缺陷定位的系统，其中所述DUT由测试器激励，所述系统包括：

激光源，提供具有飞秒脉冲宽度和大于硅带隙的波长的激光束脉冲；

光学元件，接收所述激光束脉冲并将所述激光束脉冲引导至所述DUT中的感兴趣区域上；

计时电子设备，从所述测试器接收同步信号并根据所述同步信号控制所述激光源的计时；

其中，选择所述激光束脉冲的所述脉冲宽度和波长，以在所述DUT中产生双光子吸收。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述激光源提供波长在1250nm至1550nm之间的激光束脉冲。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述激光源提供大约100飞秒脉冲宽度的激光束脉冲。

4.根据权利要求2所述的系统，其中所述光学元件包括激光扫描显微镜(LSM)。

5.根据权利要求4所述的系统，其中所述光学元件还包括固体浸没透镜。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述计时电子设备控制所述激光脉冲的计时，以增加或减少所述DUT的切换时间。

7.一种用于改变被测设备的切换时间的方法，所述设备由来自测试器的测试向量激励，所述方法包括：

产生具有飞秒脉冲宽度和大于硅带隙的波长的激光束脉冲；

将所述激光束脉冲引导至所述DUT中的感兴趣区域上；

根据来自所述测试器的同步信号控制所述激光源的计时；

其中，选择所述激光束脉冲的所述脉冲宽度和波长，以在所述DUT中产生双光子吸收。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述激光束脉冲的波长在1250nm至1550nm之间。

9.根据权利要求7所述的方法，其中所述激光束脉冲具有大约100飞秒的脉冲宽度。

10.根据权利要求7所述的方法，其中控制所述计时包括控制所述激光脉冲的计时，以增加或减少所述DUT的切换时间。

11.一种用于测试被测设备(DUT)的方法，所述DUT由测试器激励，所述方法包括：

将来自所述测试器的第一组测试向量施加到所述DUT，以确定所述DUT的临界设定；

根据所述DUT的所述临界设定，设定所述测试器的第二组测试向量的电压和频率；

将来自所述测试器的所述第二组测试向量重复地施加到所述DUT；

从所述测试器获得同步信号；

将所述同步信号施加到激光源，以获得具有飞秒脉冲宽度和高于硅带隙的波长的激光脉冲；

将所述激光脉冲施加到所述DUT中的感兴趣区域上，以增加或减少所述DUT的切换时间；

监测所述DUT的输出以确定故障的位置。

12.根据权利要求11所述的方法，其中监测所述DUT的输出包括在每个时间点监测所述DUT的通过-失败，并将所述通过-失败结果与所述激光脉冲在该时间点照射的位置相关联。

13.根据权利要求11所述的方法，其中确定所述临界设定包括确定测试向量的所述电压和频率，以使得所述DUT将要测试失败，或恰好测试失败。