[发明专利]透射电子显微镜-薄片、其制作方法及用于实施该方法的设备

权利要求书

1.一种用于进行透射电子显微镜检验的样品的制备方法，所述方法包括：

将基底安装到支撑件上，所述基底具有中央平面以及垂直于所述中央平面测量的厚度，所述支撑件具有垂直于安装方向的安装平面；

利用粒子束在所述基底的第一侧面上制作第一条形凹部，所述第一条形凹部具有第一纵向，在所述第一条形凹部的纵向和所述支撑件的安装方向之间具有第一角度；以及

利用所述粒子束在所述基底的第二侧面上制作第二条形凹部，所述第二条形凹部具有第二纵向，在所述第二条形凹部的第二纵向和所述支撑件的安装方向之间具有第二角度，使得所述第一和第二条形凹部的第一和第二纵向相互之间形成锐角或直角，并且所述第一和第二凹部之间形成厚度比所述基底厚度更小的交叠区域。

2.根据权利要求1的方法，其中，相对于所述中央平面倾斜地入射到所述基底上的聚焦离子束被用于制作所述凹部。

3.根据权利要求1或2的方法，其中，所述第一凹部被制成从所述基底的第一边缘连续地延伸到与所述第一边缘相反的所述基底的第二边缘，并且所述第二凹部被制成从所述基底的第三边缘连续地延伸到与第三边缘相反的所述基底的第四边缘。

4.根据权利要求1至3之一的方法，其中，在制作所述第一凹部和制作所述第二凹部之间，所述支撑件绕垂直或横向于所述中央平面的轴倾侧。

5.根据权利要求1至4之一的方法，其中，在制作所述第一凹部和制作所述第二凹部之间，所述支撑件绕相对于所述中央平面倾斜或平行的轴旋转，其中，所述旋转轴可选地相对于所述倾侧轴倾斜或垂直。

6.根据权利要求4或5的方法，其中，所述粒子束被用于以相同的空间定向制作两个凹部。

7.一种板状样品，所述样品具有较厚的边缘区域以及至少一个较薄的中央区域、位于所述样品的第一平坦侧面上的至少一个第一条形凹部、和位于所述样品的第二平坦侧面上的第二条形凹部，其中，至少一个所述第一凹部和所述第二凹部在于所述平坦侧面上的投影中相互之间形成锐角或直角，并且在它们之间形成厚度小于100nm的交叠区域。

8.根据权利要求7的样品，其中，所述边缘区域各处都比所述中央区域厚。

9.一种设备，用于实施根据权利要求1至6之一所述的方法，和/或用于制作根据权利要求7或8所述的样品，所述设备包括：

可绕横轴枢转的薄片支撑件；

旋转装置，用于使所述薄片支撑件绕相对于所述横轴倾斜的纵轴旋转，其中，所述纵轴特别地是相对于竖直方向倾斜；以及

限制器，用于使所述薄片支撑件绕所述横轴倾侧。

10.根据权利要求9的设备，所述薄片支撑件具有质心，其中，所述薄片支撑件的质心设置成远离所述横轴，并且所述限制器被设置成由位于所述横轴两侧的所述薄片支撑件的倾斜表面提供的并且与被支撑的探针相反的制动件。

11.根据权利要求9的设备，包括平移-旋转-换能器，所述平移-旋转-换能器具有联接在一起的旋转部件和平移部件，其中，所述换能器的旋转部件承载所述薄片支撑件并且所述换能器的平移部件可移动地安装在设备上，使得通过启动所述旋转装置，所述平移部件的平移方向能够被带到相对于水平方向倾斜的位置。

12.根据权利要求9至11之一的设备，包括粒子束源和粒子束引导件，用于将粒子束引导到被所述薄片支撑件支撑的样品的平坦侧面上，其中，所述粒子束可选地为聚焦离子束。

13.根据权利要求9至12之一的设备，包括电子束源和电子束引导件，用于将电子束引导到被所述薄片支撑件支撑的样品上。

14.根据权利要求9至13之一的设备，其中，所述横轴的方向基本垂直于所述被支撑样品的表面。

15.根据权利要求12或其从属权利要求之一的设备，还包括用于将所述薄片支撑件定位在所述粒子束可到达的空间区域内的支撑件。