[发明专利]一种射频激励气体激光器无效
| 申请号： | 201110318690.1 | 申请日： | 2011-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102354905A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 秦应雄;李文芳;杨钒;王炜;唐霞辉 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01S3/22 | 分类号： | H01S3/22;H01S3/0975;H01S3/038;H01S3/08 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 樊戎 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 激励 气体 激光器 | ||
1.一种射频激励气体激光器，包括由非金属材料制成的板条状密封放电室(1)、放电电极(2)、设有水流进出口(8)的水冷通道(3)、设有回气管(9)的储气室(4)、匹配网络(5)、通过匹配网络(5)与放电电极(2)连接的射频电源(6)、开有通光孔(13)的金属套罩(7)和谐振腔，其特征在于：所述放电电极(2)位于板条状密封放电室(1)的左右两侧外。
2.根据权利要求1所述的射频激励气体激光器，其特征在于：所述放电电极(2)为以并联方式联接的多段放电电极。
3.根据权利要求2所述射频激励气体激光器，其特征在于：所述多段放电电极为三段式放电电极。
4.根据权利要求1-3任一项所述的射频激励气体激光器，其特征在于：所述储气室(4)设有备用的充排气接头(10)。
5.根据权利要求1-3任一项所述的射频激励气体激光器，其特征在于：所述放电电极(2)为设有冷却管道(15)的放电电极。
6.根据权利要求1-3任一项所述的射频激励气体激光器，其特征在于：所述谐振腔系统由尾镜端条状反射镜(11)、带有出光孔(12a)的输出端条状反射镜(12)和全透输出镜(14)构成，所述尾镜端条状反射镜(11)和输出端条状反射镜(12)分别位于板条状密封放电室(1)的前端和后端，所述全透输出镜(14)位于出光孔(12a)处。
7.根据权利要求1-3任一项所述的射频激励气体激光器，其特征在于：所述谐振腔由两个折叠腔镜(16)、反射镜(17)和输出镜(18)构成，所述两个折叠腔镜(16)分别位于板条状密封放电室(1)的前端和后端，所述反射镜(17)位于其中一个折叠腔镜(16)的一侧，所述输出镜(18)位于其中另一个折叠腔镜(16)的另一侧。
8.根据权利要求1-3任一项所述的射频激励气体激光器，其特征在于：所述板条状密封放电室(1)由玻璃或陶瓷制成。
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