[发明专利]软性液晶显示器的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及软性液晶显示器的制造装置，尤其涉及可在卷及片(Roll&Sheet)方式的真空粘合工艺中大幅减少工艺时间和不合格率的软性液晶显示器的制造装置。

背景技术

软性显示器(Flexible Display)是形成于塑料等可弯曲的基板上的平板显示器，其因在确保优秀的显示特性的同时，可折叠、弯曲或卷曲，因此，作为当前平板显示器市场的下一代技术广受关注。

软性显示器是利用在不给现有技术的显示器的特性带来损失的同时，像纸一样可在数厘米范围之内弯曲、折叠或卷曲的薄而柔软的基板上制造的显示器，与现有技术的使用玻璃基板的坚硬的显示器不同，软性显示器轻薄，耐冲击性强，且可自由弯曲的显示器。软性显示器根据其用途及功能，可分为不易碎的(Rugged)显示器、可弯曲的(Bending)显示器及可卷曲(Rollable)的显示器。轻薄、坚固且可卷曲的显示器，可用于数字多媒体广播(DMB)、WiBro、掌上电脑(PDA)等便携式高品位移动设备，而且，今后将发展成卷曲型显示器。

图1为现有技术的液晶显示器的制造工艺流程图。

如图1所示，为了用玻璃基板制造液晶显示器，通常分为薄膜场效应晶体管(TFT，Thin Film Transistor)基板和滤色片(Color Filter)基板进行面板制造工艺。即，在TFT基板上进行TFT阵列(Array)工艺(S20)以形成作为液晶显示器的切换及驱动元件的TFT，并在TFT基板上涂布及研磨配向膜(S21)，且经过清洁(S22)及液晶分配工艺(S23)。另外，在另一个玻璃基板上形成滤色片(S10)，并经过配向膜涂布及研磨(S11)、清洁(S12)、密封(S13)、分配(S14)及间隔物散布工艺(S15)。之后，粘合(S30)两个基板(上板和下板)之后，经通过密封剂(Sealant)的硬化工艺(S31)分离为多个液晶单元的单元形成工艺(S32)并通过最终验收之后，经过偏光板附着工艺(S33)。

使用上述玻璃基板的液晶显示器是通过片对片(sheet to sheet)方式制造液晶显示器，现在，将现有技术的用软性基板替代玻璃基板的研究，主要集中在sheet to sheet方式。即，在一个软性板上形成TFT阵列，另一个板上形成滤色片并粘合上述两个板，但这将大大降低生产效益，且不能发挥软性材料的优点。

因此，为了解决上述问题，本发明人在韩国专利申请第2009-90279号中，提出可大幅提高软性液晶显示器生产效益的卷对卷(roll to roll)或Roll&Sheet方式的软性液晶显示器的制造系统及软性显示器的制造方法。在上述技术中，roll to roll方式是在上板和下板上都应用roll方式，虽然可以获得高的生产效益，但因为roll生产的特点而不能防止不合格基板的生产，因此，若在上板或下板中的任何一个发生不合格，则将导致整个产品的不合格，从而增加不合格发生率。另外，在真空装配系统(VAS，VacuumAssembly System)中，夹持(Chucking)网状(Web)基板的方法复杂，而且，产生不合格面板时，也难以去除。

另外，在韩国专利申请第2009-90279号中，除roll to roll方式之外，还提出Roll&Sheet方式。图2为用以说明本发明的申请人在韩国专利申请第2009-90279号中提出的Roll&Sheet方式的软性显示器粘合方法的概念图。如图2所示，在第一软性基板100的一面(下部面)依次排列具备滤色片、配向膜等的上板，但为了便于说明只表示一个上板150。如上所述，上板150是指包括上板工艺区域1002在内的与下板粘合的板。将依次排列包括上述上板150在内的多个上板的第一软性基板100和依次排列多个下板的第二软性基板200搬入粘合装置300，而第一软性基板100通过切割装置350切割。在完成上述切割之前或之后，在包括上板工艺区域1002在内的第一软性基板100的一面，通过机械式夹头(Mechanical Chuck)或真空夹头(Vacuum Chuck)360支撑直至固定上板150，而且，为了在真空状态下维持上板的吸附，由静电夹头(Electrostatic Chuck)370支撑上板150并移动以与下板粘合。即，静电夹头370在不包括上板工艺区域1002的面，利用静电引力附着上板150之后，并移动以使上板工艺区域1002面向下板250的上部面之后，对齐并粘合。下板250可通过机械式夹头或真空夹头380支撑直至固定。