[发明专利]半导体制品检验台无效
| 申请号： | 201110316199.5 | 申请日： | 2011-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN102509710A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 许海渐 | 申请（专利权）人： | 南通富士通微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;B25H5/00 |
| 代理公司： | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人： | 雷志刚;潘士霖 |
| 地址： | 226006 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 制品 检验 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体制品检验台，其特征在于，包括：
移动台车；
检验装置，安装在所述移动台车上；
照明装置，安装在所述检验装置上；以及
便携电池，放置在所述移动台车上并连接至所述照明装置以为所述照明装置供电。
2.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述移动台车的底部安装有多个可固定式万向轮。
3.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述移动台车为不锈钢材料制成。
4.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述移动台车上设置有防静电腕带插孔以及不锈钢接地链。
5.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述检验装置包括承载底座以及位于所述承载底座上方的光学器件。
6.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述检验装置为显微镜。
7.如权利要求6所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述照明装置位于所述检验装置的承载底座的上方。
8.如权利要求7所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述照明装置包括环设在所述检验装置的光学器件下端用以向所述承载底座发光的多个发光二极管。
9.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述便携电池为所述照明装置提供12V直流电压。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
