[发明专利]一种碳纳米管的制备方法无效

专利信息
申请号: 201110315452.5 申请日: 2011-10-18
公开(公告)号: CN102330069A 公开(公告)日: 2012-01-25
发明(设计)人: 李明吉;狄海荣;杨保和;吴小国 申请(专利权)人: 天津理工大学
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/26;C01B31/02;B82Y40/00
代理公司: 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 代理人: 侯力
地址: 300384 天津市南*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种碳纳米管的制备方法,其特征在于:采用直流等离子体喷射化学气相沉积系统制备,步骤如下:

1)将硝酸镍和硝酸镁溶解于无水乙醇中制得混合溶液作为催化剂前驱物;

2)将上述混合溶液均匀滴在基片上,自然晾干;

3)将上述基片置于直流等离子体喷射化学气相沉积设备腔内的沉积台上,基片与沉积台之间垫有锡丝;

4)关闭真空室并抽真空,当压强小于0.1pa时,向真空室通入氩气和氢气,氩气流量为1-3L/min,氢气流量为6-13L/min,启动直流电弧,调节弧电流为75~150A,调节排气阀和腔压调节阀,当腔内压强稳定在2500~4000Pa时,还原反应5~20分钟,制得Ni/MgO催化剂;

5)在保持氩气流量条件下,逐渐减小氢气的流量至6 L/min,然后通入碳氢化合物作为反应气体,在压强为2500~4000Pa和衬底温度为750~1000°C条件下,反应时间10~30分钟,在Ni/MgO表面沉积生成碳纳米管。

2.根据权利要求1所述碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述混合溶液中硝酸镍和硝酸镁的摩尔比为1:1-10,Ni(NO3)2在混合溶液中的摩尔浓度为0.05~2 mol/L。

3.根据权利要求1所述碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述基片为钼、锆或石墨。

4.根据权利要求1所述碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述锡丝呈环状缠绕八圈。

5.根据权利要求1所述碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述碳氢化合物为甲烷、乙炔、乙烯或液化气,碳氢化合物气体流量为50-150 mL/min。

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