[发明专利]谐振腔式轴快流激光器系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种轴快流激光器装置，具体的说是一种谐振腔式轴快流激光器系统。

背景技术

轴快流CO₂激光器诞生于上世纪70年代初。由于它具有优良的光束质量，除能连续波工作外，还可门脉冲及超脉冲工作，操作简单，维护方便，并能长时间稳定可靠地工作，迅速成为工业切割激光器的主流。迄今国际上从0.5kW到4kW的CO₂激光切割系统几乎全部选用轴快流CO₂激光器。

轴快流CO₂激光器光束质量好，功率高，运行稳定可靠，更加适合大批量、较厚板材的切割，是一种主要的工业激光器。近几年，我国对激光切割设备的需求量不断增加，但由于缺乏拥有自主知识产权、国产化、高性价比的CO₂激光器，产业难以形成规模。目前，国内同类产品在注入功率、输出功率，特别是长期运行的稳定可靠性等方面还存在较大不足。常用的激光器结构冷热部件都安装在一起，这样材料的热胀冷缩会直接会影响激光器谐振腔镜的相对位置和角度产生微小的变化。

发明内容

本发明的目的是为克服国内同类产品中的注入功率、输出功率，特别是长期运行的稳定可靠性等方面的不足，提供一种谐振腔式轴快流激光器系统，此结构可以将材料的热涨吸收掉，两镜片在冷端部件上，保证镜片的相对位置的稳定，从而保证激光光束的光束质量和稳定。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种谐振腔式轴快流激光器系统，包括，冷部件底座1、热部件底座2、输出镜3、尾镜4、冷热连接波纹管5、阴极6和阳极7，其特征在于：所述冷部件底座1两端分别通过支架与冷热连接波纹管5的一端连接，所述热部件底座2两端分别通过支架与冷热连接波纹管5的另一端连接，所述冷部件底座两端与热部件底座两端分别通过直线导轨8连接，所述尾镜4和输出镜3分别与两端的各自的冷热连接波纹管5的一端连接，所述冷热连接波纹管的另一端分别连接有阴极6，所述热部件底座上设置有中间支架9，所述中间支架两端分别连接有阴极，所述中间支架的左边两个阴极和右边两个阴极之间分别设置有两个阳极7，阴极与阳极之间、阳极与阳极之间通过放电管10连接，，所述阴极块上设置有进气口11，阳极与阳极之间设置有出气管12。

所述阴极和阳极分别通过支架与热部件底座连接。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明的冷热分离激光器谐振腔结构图。

图2是直线导轨结构图；

图3是软波纹管结构图；

图4是本发明的冷热分离谐振腔尾镜部分局部结构图；

图5是本发明的冷热分离谐振腔输出镜部分局部结构图。

图中1是冷部件底座，2是热部件底座，3是输出镜，4是尾镜，5是冷热连接波纹管，6是阴极，7是阳极，8是直线导轨，9是中间支架，10是放电管，11是进气口，12是出气管。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步说明：

如图1-5所示，本发明为一种谐振腔式轴快流激光器系统，包括冷部件底座1、热部件底座2、输出镜3、尾镜4、冷热连接波纹管5、阴极6和阳极7，其特征在于：所述冷部件底座1两端分别通过支架与冷热连接波纹管5的一端连接，所述热部件底座2两端分别通过支架与冷热连接波纹管5的另一端连接，所述冷部件底座两端与热部件底座两端分别通过直线导轨8连接，所述尾镜4和输出镜3分别与两端的各自的冷热连接波纹管5的一端连接，所述冷热连接波纹管的另一端分别连接有阴极6，所述热部件底座上设置有中间支架9，所述中间支架两端分别连接有阴极，所述中间支架的左边两个阴极和右边两个阴极之间分别设置有两个阳极7，阴极与阳极之间、阳极与阳极之间通过放电管10连接，，所述阴极块上设置有进气口11，阳极与阳极之间设置有出气管12。

上述阴极和阳极分别通过支架与热部件底座连接。

热端部件，放电管，阴极，阳极，出气管以及热部件底座本身的热胀冷缩会造成热部件底座的伸缩。由于热部件底座的两端与光学基座之间通过直线导轨连接，因此热部件底座的伸缩不会通过光学底座影响到两个腔镜(输出镜和尾镜)之间的相对位置好像对角度。从而实现了光学腔镜的稳定。