[发明专利]一种TiAlN涂层硬质合金刀片无效
| 申请号： | 201110310618.4 | 申请日： | 2011-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN102321873A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 罗建军 | 申请（专利权）人： | 成都名钨科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610100 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tialn 涂层 硬质合金 刀片 | ||
【权利要求书】：
1.一种TiAlN涂层硬质合金刀片的制备方法，其特征在于依次包含以下主要步骤：
(1)TiAlN涂层基体清洗；
(2)采用电子枪等离子增强的多弧技术，由Ar离子和Ti离子共同对试样进行清洗打底；
(3)逐渐降低偏压到-600V～-200V，并通入氮气，沉积一定厚度的Ti/TiN复合过渡层(由纯Ti逐渐过渡到TiN)；
(4)采用电子枪等离子辅助增强的非平衡磁控溅射技术沉积TIAlN涂层。
2.根据权利要求1所述一种TiAlN涂层硬质合金刀片的制备方法，其进一步特征在于：
(1)TiAlN涂层基体为超细WC-xCo硬质合金刀片，其中x为6～10％；
(2)TiAlN涂层的沉积采用电子枪等离子辅助增强的非平衡磁控溅射技术，电子枪电流115～145A，磁控靶电流15～20A。涂层沉积时真空度：0.10～0.45Pa，氮气流量：40～80cm3/min，沉积偏压：-50V～-80V，沉积时间：15～50min。
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