[发明专利]用于刻划多层面板的方法和系统

权利要求书

1.一种刻划多层面板的方法，所述方法包括：

(a)提供包括衬底层、布置在其上的透明传导层、布置在所述透明传导层上的第一半导体层的多层面板；

(b)相对于激光加工装置来配置所述多层面板，所述加工装置包括激光源、激光头和光传感器；

(c)引导所述激光头相对于所述多层面板的运动，使得激光束沿跨所述面板的横越线而接触所述面板，入射在所述面板上的所述激光束具有烧蚀所述激光束照射的区域内所述多层面板的一个或多个层的足够能量以提供刻划的面板；

(d)同时用来自第一光源的光照射所述刻划的面板的至少一部分；以及

(e)在所述光传感器实时地检测从所述刻划的面板显现的光。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述透明传导层包括透明传导氧化物。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述透明传导氧化物选自由氧化镉锡、氧化锌锡、氧化铟锡、铝掺杂的氧化锌、氧化锌、氟掺杂的氧化锡及上述的组合所组成的组。

4.如权利要求1或3所述的方法，其中所述第一半导体层选自由碲化镉、碲化镉锌、富碲碲化镉、碲化钒硫、碲化镉锰、碲化镉镁及上述的组合所组成的组。

5.如权利要求1或3所述的方法，其中所述多层面板还包括第二半导体层。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述第二半导体层选自由碲化镉锌、碲化镉硫、碲化镉锰、碲化镉汞、硒化镉、碲化镉镁、铜铟镓二硒及上述的组合所组成的组。

7.如权利要求1所述的方法，其中入射在所述面板上的所述激光束特征在于材料的损坏阈值的从大约1到10倍的范围中的强度级别。

8.一种用于刻划多层面板的系统，包括：

激光加工装置，包括激光源、激光头和光传感器以及用于引导所述激光头相对于多层面板的运动的部件；

第一光源；

其中所述光传感器配置成接收从多层面板显现的光；以及

推理传感器。

9.如权利要求8所述的系统，其中所述多层面板是光伏装置。

10.如权利要求8或9所述的系统，其中所述第一光可包括多个光源。