[发明专利]直线振动调制微型静电场传感器无效
申请号: | 201110309911.9 | 申请日: | 2011-10-13 |
公开(公告)号: | CN102323490A | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 季鑫源;徐伟;行鸿彦 | 申请(专利权)人: | 南京信息工程大学 |
主分类号: | G01R29/12 | 分类号: | G01R29/12 |
代理公司: | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人: | 张立荣 |
地址: | 210044 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直线 振动 调制 微型 静电场 传感器 | ||
1.一种直线振动调制微型静电场传感器,它包括屏蔽电极、感应电极、压电叠堆、压电叠堆安装板、位置调节螺纹和安装底座,屏蔽电极设置在安装底座上并接地,感应电极与屏蔽电极相对平行设置,感应电极下部连接压电叠堆,压电叠堆固定在压电叠堆安装板上,压电叠堆安装板通过位置调节螺纹与安装底座连接;所述屏蔽电极上开有若干圆孔,或者开有若干长槽型狭缝。
2.根据权利要求1所述的直线振动调制微型静电场传感器,其特征在于:所述屏蔽电极上的圆孔的直径为0.2-2毫米,相邻圆孔的中心距为圆孔直径的1.1-1.2倍。
3.根据权利要求1所述的直线振动调制微型静电场传感器,其特征在于:所述屏蔽电极上狭缝为平行狭缝,狭缝宽度为0.2-2毫米,相邻狭缝的间距为狭缝宽度的0.1-0.2倍。
4.根据权利要求1所述的直线振动调制微型静电场传感器,其特征在于:屏蔽极电极和感应电极间的距离设计为0.3-0.5mm。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的直线振动调制微型静电场传感器,其特征在于:所述屏蔽电极为圆形金属膜片,所述感应电极为与屏蔽电极形状相当的圆形结构。
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