[发明专利]电子级超纯氨的提纯装置及其提纯方法

权利要求书

1.电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：包括液氨储槽(1)、液氨泵(2)、汽化器(3)、除油器(4)、精馏塔(5)、终端纯化器(6)、冷凝器(7)和产品储罐(8)，所述精馏塔包括第一精馏塔(51)和第二精馏塔(52)，液氨泵接入到液氨储槽中并将液氨打入汽化器，汽化器输出连接到除油器上，除油器输出连接到第一精馏塔塔中上，第一精馏塔从塔顶输出连接到第二精馏塔塔釜，第二精馏塔从塔顶输出连接到终端纯化器上，终端纯化器输出连接到冷凝器上，冷凝器输出连接到产品储罐上。

2.根据权利要求1所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述第一精馏塔的塔顶设有与第一精馏塔连通的第一塔顶冷凝器(511)，第一塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔，在第二精馏塔的塔顶设有与第二精馏塔连通的第二塔顶冷凝器(521)，第二塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔和产品储罐，在第一精馏塔的塔底设有与第一精馏塔连通的第一塔底再沸器(512)，第一塔底再沸器输出连接到第一精馏塔，在第二精馏塔的塔底设有与第二精馏塔连通的第二塔底再沸器(522)，第二塔底再沸器输出连接到第二精馏塔。

3.根据权利要求2所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述第一塔底再沸器和第二塔底再沸器还并联输出连接到液氨回收罐(9)。

4.根据权利要求3所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述液氨回收罐连接在第一塔底再沸器的底部和第二塔底再沸器的底部。

5.根据权利要求3或4所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述液氨回收罐也与汽化器的底部接通。

6.使用权利要求1所述的提纯装置来提纯电子级超纯氨的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)通过液氨泵(2)将液氨储槽(1)中的液氨打入汽化器(3)汽化；

2)经汽化器汽化后的氨气送入除油器(4)除油，除油后直接送入第一精馏塔(51)进行轻重组分分离，在第一精馏塔塔顶经过第一塔顶冷凝器(511)后除去不凝性的轻组分杂质，第一塔底再沸器(512)中含重组分杂质的液氨排放到液氨回收罐中，第一精馏塔塔釜的塔顶经冷凝的液氨送入第二精馏塔(52)进一步去除轻重组分杂质；

3)在第二精馏塔塔顶经过第二塔顶冷凝器(521)后除去不凝性的轻组分杂质，第二塔底再沸器(522)中含重组分杂质的液氨排放到液氨回收罐(9)中，检测经过第二塔顶冷凝器的液氨是否合格，若合格则装入产品储罐(8)，若不合格则同第二精馏塔塔釜的氨气一起送入终端纯化器(6)进行微量除杂，最终经冷凝器(7)冷凝得到合格的超纯氨装入产品储罐。

7.根据权利要求6所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述汽化器的工作温度控制在50℃～80℃，工作压力控制在1Mpa～1.5Mpa之间；液氨的汽化速率在180kg/h～230kg/h。

8.根据权利要求6或7所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述汽化器内工作液位高度为0.5m～0.8m。

9.根据权利要求6所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述第一精馏塔和第二精馏塔的工作温度控制在20℃～80℃，工作压力控制在0.9Mpa～1.3Mpa。

10.根据权利要求6或9所述的电子级超纯氨的提纯装置，其特征在于：所述第一精馏塔和第二精馏塔的高度为23m～26m。