[发明专利]一种晶片全自动目检机

权利要求书

1.一种晶片全自动目检机，包括一个机架(1)，其特征在于，所述的机架(1)上设有取片转盘(2)、检测转盘(3)和收料盒(4)，所述的机架(1)和取片转盘(2)之间设有能将晶片输送至取片转盘(2)上的进料机构，所述的检测转盘(3)和取片转盘(2)之间设有能够将取片转盘(2)上的晶片转移至检测转盘(3)上预设位置的移料机构，所述的检测转盘(3)的上放和下方分别设有成像机构一和成像机构二，本目检机还包括一个与所述的成像机构一和成像机构二相连的分析计算机，所述的分析计算机能够根据成像机构一和成像机构二所得的图像判断该晶片是否合格，所述的收料盒(4)和检测转盘(3)之间设有能够根据检测结果将检测转盘(3)上的晶片放置在收料盒(4)内不同位置的放料机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的进料机构包括设计在机架(1)上且位于取片转盘(2)一侧的进料筒(5)，所述的进料筒(5)的出口端设有一个能够将该处晶片随机撒在取片转盘(2)上的抛射器(6)。

3.根据权利要求2所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的移料机构包括设置在取片转盘(2)上方的定位相机(7)，所述的定位相机(7)固连在机架(1)上，所述的定位相机(7)和分析计算机相连，所述的取片转盘(2)的一侧设有一个能将取片转盘(2)上的晶片取出并放置到检测转盘(3)上预设位置的机械手一。

4.根据权利要求3所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的机械手一包括固设在机架(1)上的滑轨一(10)和滑动连接在该滑轨一(10)上的横臂一(8)，所述的滑轨一(10)位于取片转盘(2)的一侧，所述的横臂一(8)的前端设有能够吸附晶片的吸头一(9)。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的成像机构一包括固设在机架(1)上的且位于检测转盘(3)上方的照相机一(11)和照明光源一，所述的照相机一(11)和分析计算机相连。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的成像机构二包括固设在机架(1)上的且位于检测转盘(3)下方的照相机二(12)和照明光源二，所述的照相机二(12)和分析计算机相连。

7.根据权利要求1或2或3或4所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的放料机构包括固设在机架(1)上的滑轨二(13)和滑动连接在该滑轨二(13)上的横臂二(14)，所述的滑轨二(13)位于检测转盘(3)的一侧，所述的横臂二(14)的前端设有能够吸附晶片的吸头二(15)，所述的吸头二(15)位于检测转盘(3)的上方，且通过移动横臂二(14)能使吸头二(15)位于收料盒(4)的上方。

8.根据权利要求1或2或3或4所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的检测转盘(3)的盘体透明。

9.根据权利要求1或2或3或4所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的收料盒(4)包括至少两个隔层。

10.根据权利要求1或2或3或4所述的一种晶片全自动目检机，其特征在于，所述的机架(1)上还设有一个触摸显示器(16)，该触摸显示器(16)和分析计算机相连。