[发明专利]活塞式恒压可控制气流源测流量装置

权利要求书

1.一种活塞式恒压可控制气流源测流量装置，其特征在于：包括直线运动抽吸系统和测量测试单元以及用于控制抽吸系统和测量测试单元的控制器，所述直线运动系统由四组活塞缸体、与四个活塞杆相连接的丝杠以及与驱动丝杠转动的伺服电机构成；所述测量测试单元包括安装在活塞缸体前端出气口处的工作接口、工作电磁阀、测量电磁阀、标准器具卡具、卡具接口以及流量测试单元；伺服电机的转动和活塞杆运动区间的限位开关均由控制器控制；在活塞缸体出气口处设置有压力传感器，在标准器具卡具的进气端设置有压力传感器，在标准器具卡具内设置有温度传感器；所有电磁阀、压力传感器和温度传感器均与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的活塞式恒压可控制气流源测流量装置，其特征在于：在工作接口上还设置有通入大气的气路，并在该气路上安装有回程电磁阀和消声器。

3.根据权利要求1所述的活塞式恒压可控制气流源测流量装置，其特征在于：丝杠与四组活塞缸体平行设置，四根活塞杆通过设置在活塞杆尾端的连接块与套装在丝杠上的丝母连接。

4.根据权利要求1所述的活塞式恒压可控制气流源测流量装置，其特征在于：丝杠一端通过联轴节与伺服电机同轴连接。