[发明专利]分立掩膜和通过利用该分立掩膜装配掩膜框组件的方法

权利要求书

1.一种分立掩膜，包括：

杆体，在该杆体上形成有沉积图案；以及

夹紧部分，沿所述杆体的纵向从所述杆体向外延伸，所述夹紧部分的宽度从所述杆体增加。

2.根据权利要求1所述的分立掩膜，其中所述杆体和所述夹紧部分之间的连接部分被焊接到掩膜框组件的框架上。

3.根据权利要求2所述的分立掩膜，其中在所述连接部分被焊接到所述框架上之后，所述夹紧部分被移除。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的分立掩膜，其中所述夹紧部分包括延伸部分，所述延伸部分具有从所述杆体向外增加的宽度。

5.根据权利要求4所述的分立掩膜，其中所述夹紧部分具有“Y”形。

6.一种装配掩膜框组件的方法，包括以下步骤：

制备多个分立掩膜以及所述多个掩膜被连附至的框架，每个分立掩膜包括杆体和夹紧部分，在所述杆体上形成有沉积图案，所述夹紧部分沿所述杆体的纵向从所述杆体向外延伸，所述夹紧部分的宽度从所述杆体增加；以及

在通过夹持和拉动所述分立掩膜的夹紧部分将张力施加到所述分立掩膜上的同时，将所述杆体焊接到所述框架上。

7.根据权利要求6所述的装配掩膜框组件的方法，进一步包括在所述分立掩膜上完成所述焊接时，切掉所述分立掩膜的夹紧部分。

8.根据权利要求6所述的装配掩膜框组件的方法，其中在将所述杆体焊接到所述框架上时，将所述杆体和所述夹紧部分之间的连接部分焊接到所述框架上。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的装配掩膜框组件的方法，其中所述夹紧部分包括延伸部分，所述延伸部分具有从所述杆体向外增加的宽度。

10.根据权利要求9所述的装配掩膜框组件的方法，其中所述夹紧部分具有“Y”形。