[发明专利]可调且可切换的多层光学器件

权利要求书

1.多层光学器件，包括：

在基底上形成的布置，所述布置包括至少第一层、第二层以及设置于所述第一层与所述第二层之间的空间，所述空间具有高度，

其中，所述第一层、所述第二层、以及所述第一层与所述第二层之间的所述空间形成的所述布置，能够从入射到所述布置上的电磁能量产生透射、反射或散射的、在光谱上修改的电磁能量，而且所述光学器件的光学功能至少部分地依赖于干涉效应。

2.如权利要求1所述的多层光学器件，其中所述第一层是所述基底。

3.如权利要求1所述的多层光学器件，进一步包括间隔物，所述间隔物设置在所述第一层与所述第二层之间并且与所述第一层和所述第二层接触，其中所述第二层由所述间隔物支撑，而且所述空间由所述间隔物、所述第一层和所述第二层限定。

4.如权利要求3所述的多层光学器件，其中所述间隔物是不连续的，并且包括具有图案的彼此分离的两个或更多个结构。

5.如权利要求4所述的多层光学器件，其中所述间隔物的结构的图案能够用作衍射光栅。

6.如权利要求5所述的多层光学器件，进一步包括设置在所述空间内的第一流体。

7.如权利要求6所述的多层光学器件，进一步包括装置，所述装置用于将所述空间的光学活性区域内的流体从具有第一折射率的所述第一流体改变为具有第二折射率的第二流体，其中当所述第一流体位于所述空间中时，所述多层光学器件的光学功能是第一功能，而当所述第二流体位于所述空间中时，所述多层光学器件的光学功能是不同于所述第一功能的第二功能。

8.如权利要求7所述的多层光学器件，其中所述第一光学功能和所述第二光学功能形成模式对，所述模式对选自针对波段进行的衍射和非衍射、光谱滤波和非滤波；聚焦和非聚焦；以及反射和透射。

9.如权利要求6所述的多层光学器件，具有结构，使得作用在增压室中的流体上的温度或静电力确定所述第一流体是否存在于所述空间中。

10.如权利要求1所述的多层光学器件，进一步包括设置在所述空间内的第一流体。

11.如权利要求10所述的多层光学器件，其中所述光学器件的光学功能随着所述空间内的所述流体的压力而改变。

12.如权利要求10所述的多层光学器件，具有结构，使得作用在增压室中的所述第一流体上的温度或静电力确定所述空间内的所述流体的压力。

13.如权利要求1所述的多层光学器件，其中所述间隔物限定具有通光孔径、衍射光栅或超透镜之一的光学活性区域。

14.如权利要求13所述的多层光学器件，进一步包括装置，所述装置用于将所述光学活性区域内的流体从第一流体改变为第二流体。

15.如权利要求14所述的多层光学器件，其中所述第二流体是液体。

16.如权利要求14所述的多层光学器件，其中：

当所述第一流体存在于所述光学活性区域中时，所述光学器件具有第一光学功能，所述第一光学功能依赖于所述第一流体的折射率以及所述第一层与所述第二层之间的所述空间的高度；

当所述第二流体存在于所述光学活性区域中时，所述光学器件具有第二光学功能，所述第二光学功能依赖于所述第二流体的折射率以及所述第一层与所述第二层之间的所述空间的高度。

17.如权利要求16所述的多层光学器件，其中所述第一流体被选择以使得所述光学器件的光学功能包括通过所述第一流体的折射率确定的第一功能，并且使得具有不同折射率的第二流体在所述光学活性区域中的存在使所述光学器件的光学功能包括不同的功能。

18.如权利要求1所述的多层光学器件，其中所述器件包括通过溅射、蒸发、化学气相沉积中的至少之一沉积的一个或多个薄膜。

19.如权利要求1所述的多层光学器件，具有结构，所述结构用于将第一流体引入所述空间内，使得所述光学器件能够当所述空间内存在所述第一流体时而工作在第一模式下，并且当所述空间内不存在第一流体时而工作在第二模式下。