[发明专利]多探针共成像的超高真空四探针扫描隧道显微镜

权利要求书

1.一种超高真空四探针扫描隧道显微镜，所述超高真空四探针扫描隧道显微镜包括：超高真空腔体，其特征在于：在所述超高真空腔体的顶部由刀口法兰密封安装有三维调节镜架以及在所述三维调节镜架上安装有光学显微镜；在所述超高真空腔体的内部经由四根弹簧悬挂有减振底盘；在所述减振底盘的中央安装有能够在XY平面扫描的样品台部件；在所述减振底盘上且处于所述样品台部件的四周安装有四个探针位移驱动器；四个探针Z向扫描器分别安装在所述四个探针位移驱动器上；以及四个扫描探针分别安装在所述四个探针Z向扫描器上。

2.如权利要求1所述的超高真空四探针扫描隧道显微镜，其特征在于，所述样品台部件进一步包括样品台、样品台扫描器以及支撑管，其中，所述样品台用绝缘胶粘接在样品台扫描器的顶端，所述样品台扫描器的底端用绝缘胶粘接在所述支撑管上，所述支撑管紧固在所述减振底盘上。

3.如权利要求2所述的超高真空四探针扫描隧道显微镜，其特征在于，所述样品台扫描器为压电陶瓷管，所述压电陶瓷管的内外壁均镀有金属膜，将内外壁的金属膜按相同的方式划分四等份，使得内外壁各形成四个独立的电极，对所述压电陶瓷管的四个独立电极施加电压，会引起所述压电陶瓷管在相应的电极的方向发生微小的弯曲变形，从而引起所述样品台在水平面上的微小平动，因此实现所述样品台在XY平面扫描。

4.如权利要求1所述的超高真空四探针扫描隧道显微镜，其特征在于，每一个所述探针位移驱动器为压电陶瓷驱动器，能够在XYZ三个方向上进行三维驱动。

5.如权利要求1所述的超高真空四探针扫描隧道显微镜，其特征在于，每一个探针Z向扫描器为压电陶瓷管，可沿Z方向伸缩变形。