[发明专利]一种高温炉发热体

说明书

所属技术领域

本发明涉及熔体籽晶法单晶生长设备，尤其涉及一种高温炉发热体。

背景技术

目前国内外发热体单晶生产设备所采用的发热体布局基本采用鸟笼式编织结构，此种发热体虽可实现轴向温度梯度，但由于结构所限造成钨发热体长度不一致，而且高温端空间排列存在热节和冷区，不能保证高温端热场的周向均匀性，并且操作工艺复杂，维护成本高。

发明内容

本发明的目的就是针对上述现有发热体单晶生产设备技术的不足，提供一种高温炉发热体，将若干根钨棒加工成形状为“弯折U形”，并将“弯折U形”钨棒的两端按轴对称排列方式分别安装于两个环形电极圈上，制做成高温炉发热体，通电后形成具有轴向温度梯度且经向完全对称的温度分布。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高温炉发热体，主要由若干“弯折U形”钨棒组成，其特征在于将若干根独立的钨棒加工成“弯折U形”，然后将“弯折U形”钨棒的两端按轴对称排列方式独立安装于两个环形电极圈上，各U形发热棒的形底部用适当粗细的钨丝连接在一起形成圆环。这样做成的制做成高温炉发热体，通电后形成具有轴向温度梯度且径向完全对称的温度分布。

作为本发明的进一步改进，所述“弯折U形”钨棒的弯折部分形成热端辐条段的长度小于整个笼体直径的一半。

作为本发明的进一步改进，所述“弯折U形”钨棒按直杆段长度进行分组，各组沿电极环周向交替周期性排列固定，在热端形成多层辐条结构。

作为本发明的进一步改进，所述构成同组的每个“弯折U形”钨棒为同一展开长度，不同组的“弯折U形”钨棒可以相同也可以有不同的展开长度。

作为本发明的进一步改进，所述钨材质可以用钼替换，也可以用石墨或者碳化硅替换。

本发明产生的有益效果是，确保发热体热场的温度梯度和温度场轴对称性，而且调节方便，制作简单，维护成本低，适用于大多数熔体籽晶法单晶生长炉。

附图说明

图1为本发明一种实施例的俯视示意图。

图2为本发明一种实施例的结构示意图。

附图标记说明：1.“弯折U形”钨棒，2.环形电极

具体实施方式

下面结合附图和该实施例对本发明作进一步的说明：

参照图1，图2，本发明首先将若干根钨裁切成设计长度，然后将其加工成形状为“弯折U形”。其次将一组“弯折U形”钨棒(1)两端按轴对称排列方式分布分别安装于两个环形电极(2)内部上；然后再将一组“弯折U形”钨两端按电极环周均匀分布排列分别安装于两个环形电极(2)上，制作成高温炉发热体，从而形成经向分布均匀，具有轴向温度梯度和完全轴对称的温度效果，通电后形成具有轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布。