[发明专利]一种高温炉加热棒

说明书

技术领域

本发明涉及熔体籽晶法单晶生长设备，尤其涉及一种高温炉加热棒。

技术背景

目前市场上很多钨棒发热体高温电阻炉采用低电压大电流方式供电，其中加热钨棒均是在底部过渡处弯曲，形成U型。此种加热钨棒做成高温炉，轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布不合理，生成的晶体质量不高。因为其形状复杂，且极易损坏，难以修复。

发明内容

为了克服现有高温电阻炉的发热体技术的不足，本发明提供一种高温炉加热棒，其形状为“弯折U型”，将其做成高温炉，具有完全的轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：将难熔金属裁切成设计长度，并将其加工成形状为“弯折U型”，即形成加热棒，并且加热棒两端设计成螺纹形状。

作为本发明的进一步改进，所述难熔金属可以是钨或者钼。

本发明产生的有益效果是，材料加工方便；大量用于高温炉；能适用于各类低电压大功率钨丝电阻炉，典型应用是蓝宝石晶体生长炉及单晶硅晶体生长炉。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明加热棒的平面图。

图2是本发明加热棒的侧视图。

图3是本发明加热棒弯折部分的示意图。

附图标记说明：1.加热棒。

具体实施方式

在图1、2、3中，一种高温炉加热棒，将难熔金属裁切成设计长度，将裁切好的金属加工成形状为“弯折U型”，并且加热棒两端设计成螺纹形状。

在安装成高温炉时，先在加热棒两端分别以螺纹连接方式连接于两个金属棒的对应端，然后将两个金属棒另一端固定于两个极性不同的电极圈上，即形成高温炉加热体。