[发明专利]一种激光调阻机控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种激光调阻机控制装置。

背景技术

激光调阻，是一种修调电阻阻值的工艺。其原理是：当高功率激光光束撞击厚膜或薄膜电阻材料表面时，光束撞击处的电阻材料介质气化，使电阻阻值升高。激光调阻机就是利用此原理，对电阻进行修调，得到符合阻值精度要求的电阻的装置。

现有技术中，激光调阻机在使用时，都是将激光调阻机与PC主机相连。PC主机上安装有激光调阻机的驱动程序和激光调阻应用程序。PC主机通过软件程序，实现对激光调阻机的控制。

但是，目前主机操作系统大多为Windows 2000和Windows XP，属于多进程操作系统。当主机在运行激光调阻应用程序时，同时会运行操作系统程序。由于系统资源动态变化和系统程序设置自动化(例如执行自动备份程序等)，往往在执行激光调阻应用程序时，会出现应用程序运行不连续或停顿，造成激光调阻机运行时快时慢(非线性，特别是当系统有多个应用程序执行时，机器运行效率格外变慢和不稳定)。

发明内容

本发明的目的是提供一种激光调阻机控制装置，能够通过硬件电路对激光调阻机进行控制，提高激光调阻机的工作效率和稳定性。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种激光调阻机控制装置，包括：CPU电路、地址译码及逻辑控制信号生成电路、状态及中断寄存器电路、串行接口及并行接口电路和数据总线；所述CPU电路分别与所述地址译码及逻辑控制信号生成电路，所述状态及中断寄存器电路，以及所述数据总线相连；所述串行接口及并行接口电路与所述CPU电路相连；所述状态及中断寄存器电路与所述数据总线相连。

优选的，还包括：光电隔离电路；所述CPU电路和所述状态及中断寄存器电路，通过所述光电隔离电路，与所述外部EST数据总线相连。

优选的，还包括：电源及报警显示电路；所述电源及报警显示电路与所述数据处理电路相连。

优选的，所述CPU电路包括：89C5X系列的CPU芯片，型号为2764的EPROM，型号为6116的SRAM，型号为74LS244的总线驱动器以及型号为74LS373的锁存器。

优选的，所述状态及中断寄存器电路包括：带复位置位的D触发器。

优选的，所述地址译码及逻辑控制信号生成电路包括：型号为16V8的通用阵列逻辑器件。

优选的，所述串行接口及并行接口电路包括：通用并行接口器件P8255和通用232串行通讯接口芯片。

优选的，所述光电隔离电路包括：高速光耦器件以及型号为74LS244的总线驱动器。

优选的，所述电源及报警显示电路包括：LED组、蜂鸣器及驱动电路。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

本发明所公开的激光调阻机控制装置，将原本通过PC机运行的软件程序，用独立的硬件集成电路实现，所以能够通过单独的硬件电路对激光调阻机进行控制，而不必占用PC机的CPU进行运算及控制，提高了激光调阻机的工作效率和稳定性。

此外，本发明所公开的激光调阻机控制装置，数据处理电路和所述状态及中断寄存器电路之间，通过光电隔离电路与所述外部EST数据总线相连，提高了本发明所公开的激光调阻机控制装置的抗干扰性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明所公开的激光调阻机控制装置结构图；

图2为本发明所公开的CPU芯片连接示意图；

图3为本发明所公开的CPU电路第一部分电路图；

图4为本发明所公开的数据处理电路第二部分电路图；

图5为本发明所公开的状态及中断寄存器第一部分电路图；

图6为本发明所公开的状态及中断寄存器第二部分电路图；

图7为本发明所公开的光电隔离电路第一部分电路图；

图8本发明所公开的光电隔离电路第二部分电路图；

图9本发明所公开的光电隔离电路第三部分电路图；

图10为本发明所公开的光电隔离电路第四部分电路图；

图11为本发明所公开的地址译码及逻辑控制信号生成电路图；