[发明专利]线性马达及载物台装置

权利要求书

1.一种线性马达，是具备场磁铁和电枢，将所述场磁铁和所述电枢的任意一方作为动子，将另一方作为定子，可使所述动子沿X轴方向及与其正交的Y轴方向移动的线性马达，其特征在于，

所述场磁铁具有：

相对配置的2个平板状磁轭；

轭铁基座，设置在所述磁轭的所述Y轴方向一侧端部上；

第1磁铁阵列，沿所述X轴方向配置有多列设置在所述磁轭内侧且相对配置的极性不同的一对第1磁铁；

及第2磁铁阵列，沿所述Y轴方向配置有一列设置在所述磁轭内侧的所述第1磁铁阵列的所述Y轴方向一侧或另一侧且相对配置的极性不同的一对第2磁铁，

所述电枢具有：

第1电枢绕组，配置在与所述第1磁铁阵列相对的位置上；

及第2电枢绕组，配置在与所述第2磁铁阵列相对的位置上。

2.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

所述第2磁铁阵列设置在所述第1磁铁阵列的所述Y轴方向一侧。

3.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

所述第2磁铁阵列设置在所述第1磁铁阵列的所述Y轴方向另一侧。

4.根据权利要求2所述的线性马达，其特征在于，

所述第2磁铁阵列设置在与所述电枢的所述第2电枢绕组的所述Y轴方向一侧的绕组边端部相对的位置上。

5.根据权利要求4所述的线性马达，其特征在于，

所述第2磁铁阵列由在所述Y轴方向上形成为比所述第2电枢绕组的所述绕组边端部长的所述第2磁铁构成，

设置为所述第2磁铁的所述Y轴方向一侧端部与所述绕组边端部的所述Y轴方向一侧端部在Y轴方向上的间隔，比所述第2磁铁的所述Y轴方向另一侧端部与所述绕组边端部的所述Y轴方向另一侧端部在Y轴方向上的间隔大。

6.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

所述轭铁基座由磁性材料构成。

7.一种载物台装置，其特征在于，作为直动机构的驱动源使用权利要求1所述的线性马达。