[发明专利]回收废液中的碳化硅的方法

说明书

技术领域

本发明涉及废液处理，特别是一种能够回收废液中的碳化硅的方法。

背景技术

在一般工业工艺的过程中，常常会产生含有固含物的废液，例如光电业半导体工艺中切削硅晶块的程序，会使用线型刀片并搭配混有钻石或碳化硅(俗称金刚砂)磨粒的切削液，在刀片高速旋转下将硅晶块切割成硅芯片，而在切割硅晶块的过程中所产生的破片和碎屑，就会混杂在切削液中并逐渐累积(在一硅晶块切削废液中，约有40％的硅因为线型刀片的宽度而损耗)，导致切削液固含物含量太高无法继续利用而成为废液，最终只能丢弃，不仅不利于环保且不符合经济效益。

虽然现有技术中有将前述废液单纯通过滤布，尝试去除废液中的固含物，但现有滤布过滤方式无法将固含物中较具经济价值的碳化硅由废液中分离出来，且因固含物会阻塞滤布，导致过滤效果不明显。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种回收废液中的碳化硅的方法，能有效将废液中的碳化硅回收利用。

为了实现上述目的，本发明提供了一种回收废液中的碳化硅的方法包括以下步骤：(a)以过滤方式分离一废液中的固含物及液体，该固含物包含硅粉及碳化硅粉；(b)将该固含物与水混合为一第一混合液体；(c)以离心方式将该第一混合液体中的硅粉及水移除，保留碳化硅粉为主的第一阶段产物；(d)对第一阶段产物进行至少一道沉降分离程序，以得到第二阶段产物，其中该沉降分离程序依序包含加水搅拌混合、静置沉降及移除悬浮液的步骤；(e)添加氢氧化钠溶液至第二阶段产物中，氢氧化钠与硅反应生成偏酸硅钠并加以移除，得到第三阶段产物；及(f)将第三阶段产物中残留的氢氧化钠及水去除，得到纯化后的碳化硅。

本发明的技术效果在于：本发明回收废液中的碳化硅的方法简单、成本低廉，且回收的碳化硅具有极高的纯度，可再次添加于硅晶块切削液中作为研磨材，除了可避免废液所造成的环境污染，兼具资源回收的效而极富经济价值。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例回收废液中的碳化硅的方法流程图；

图2为本发明该较佳实施例的过滤方式所使用的装置的示意图；

图3为本发明该较佳实施例的过滤方式的示意图。

其中，附图标记

10装置              20助滤材容置桶

21助滤材            23液体

30助滤材注入管路    31废液管路

33回收液管路        35回流管路

40板框式压滤机      41滤布

43助滤层            45过滤结构

50废液容置桶        51固含物

53废液              60回收液储存桶

61回收液            S11～S18步骤

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述：

图1为本发明一较佳实施例回收废液中的碳化硅的方法流程图。首先进行步骤S11，以过滤方式分离一废液中的固含物及液体，其中该固含物包含硅粉及碳化硅粉。

在本实施例的方法中，可使用如图2所示的装置10过滤废液53，该装置10主要包括有一助滤材容置桶20，其内盛装包含有助滤材21的液体23如硅晶块切削液，该助滤材容置桶20经由一助滤材注入管路30连接于一设置有滤布41的板框式压滤机40的入口，此外，一废液容置桶50经由一废液管路31而连接于该设置有滤布41的板框式压滤机40的入口，该废液容置桶50内盛装包含有固含物51的废液53，该板框式压滤机40的出口则分别与一回收液管路33以及一回流管路35相连接，该回收液管路33连通于一回收液储存桶60，而该回流管路35连通于该助滤材容置桶20。在以下实施例中，以光电业半导体工艺所使用的硅晶块切削液举例说明，然而实际上并不局限于此。

配合参考图2及图3，本实施例中，废液53的过滤主要先将含有助滤材21的液体23通过一滤布41，使助滤材21堆栈覆盖于该滤布41表面并形成一助滤层43，该滤布41及覆盖于该滤布41的该助滤层43构成一过滤结构45，之后再将欲过滤的废液53通过堆栈覆盖有该助滤层43的滤布41，透过该助滤层43与滤布41阻挡废液53中的固含物51，以获得相对澄清的回收液61，亦即，通过该过滤结构45以分离该废液53中的固含物51及液体。