[发明专利]一种高低温下反射镜参数的测试装置和测试方法

权利要求书

1.一种高低温下反射镜参数测量装置，其特征在于，为一用于放置反射镜的封闭壳体，该壳体开有用于光束传输的入射窗口和出射窗口，入射窗口和出射窗口由光透明介质制成，且壳体内壁设置有温度传感器、加热器件和制冷器件。

2.根据权利要求1所述的高低温下反射镜参数测量装置，其特征在于：所述壳体内部设置有保温层。

3.根据权利要求2所述的高低温下反射镜参数测量装置，其特征在于：所述壳体内设置有固体干燥剂。

4.根据权利要求3所述的高低温下反射镜参数测量装置，其特征在于：所述壳体上设置有用于抽气的可闭合的接口。

5.根据权利要求4所述的高低温下反射镜参数测量装置，其特征在于：所述入射窗口和出射窗口垂直，反射镜在壳体内放置时，其反射面与入射窗口和出射窗口所在面成45°。

6.根据权利要求5所述的高低温下反射镜参数测量装置，其特征在于：

所述入射窗口和出射窗口在同一直线上，反射镜在壳体内放置时，其反射面与入射窗口和出射窗口所在面平行。

7.一种高低温下反射镜参数测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：先把反射镜装入反射镜装置内

把反射镜装入作为反射镜装置的密封壳体内；

步骤2：构建温控系统

在反射镜测试装置上集成加热和制冷器件以及温度传感器，并在壳上面集成的加热和制冷器件连线，形成封闭温控系统；

步骤4：搭建测试光路

将装有被测反色镜的测试装置放在光路中，通过光路调节，把被测反射镜的位置调整到最佳位置；

步骤5：设定测试温度曲线参数并进行高低温下的测量

在计算机上设定测试温度曲线参数，然后利用与反射镜测试系统交联的计算机程控系统控制开始自动逐项开始常温、低温和高温下对反射镜进行测试，完成高低温下的反射镜参数测试。

8.根据权利要求7所述的高低温下反射镜参数测量方法，其特征在于：反射镜放了壳体内后，使用固体干燥剂对壳内空气作减小湿度的预先处理。