[发明专利]一种低损耗高可靠性反射镜有效
| 申请号： | 201110300564.3 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102338899A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 薛青云;刘希强;苏宇;陈勇;单凡;李县洛;陈帛雄;张振辉 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业第六一八研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710065 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 损耗 可靠性 反射 | ||
【权利要求书】：
1.一种低损耗高可靠性反射镜，其包括石英基底，其特征在于：在石英基底上镀制高低折射率层相互交叠的规整四分之一工作波长高反射膜系，所述高反射膜系最外侧的高折射率层上设有一层极薄的HfO2薄膜。
2.根据权利要求1所述的低损耗高可靠性反射镜，其特征在于，所述高反射膜系为：Sub/(HL)^n xH(1-x)M/Air，其中n为7～13，x为0.8～0.95，H为TiO2，L为SiO2，M为HfO2。
3.根据权利要求2所述的低损耗高可靠性反射镜，其特征在于：所述HfO2薄膜的折射率范围为1.8～2.05，其光学厚度为四分之一工作波长的1-x倍。
4.根据权利要求1至3任一项所述的低损耗高可靠性反射镜，其特征在于，反射镜镀膜完成后，先常温升至340℃耗时四小时，然会恒温340℃保持6小时，之后随封闭烘箱自然降温至常温。
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