[发明专利]一种增强金属薄膜表面疏水性的方法

权利要求书

1.一种增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：步骤如下：

（1）基体表面清洗：将基底依次用丙酮、乙醇和去离子水超声清洗，清洗的时间为5～10 min，在氮气中吹干，待用；

（2）金属薄膜制备：利用镀膜技术在上述表面平整的基体表面沉积一层厚度均匀的金属薄膜；

（3）薄膜的热处理：将上述沉积一层金属薄膜的基体放入石英舟上，石英舟置于管式炉中石英管的中间位置，密封后按设定升温速率提高温度，同时通入惰性气体，将石英管中空气排净后，关闭惰性气体，再通入氢气继续加热到设定的温度，并在该温度下恒温10 ～50 min，之后关闭氢气，停止加热，在惰性气体的保护下冷却至室温取出；

（4）热处理后薄膜化学修饰：将热处理好的金属薄膜浸入全氟四氢葵烷基三氯硅烷的正己烷溶液中，3～8 h 后取出即可得到超疏水性表面。

2.按照权利要求1所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：升温速率为10～50℃/min。

3.按照权利要求1所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于:设定温度为沉积金属材料熔点的一半以上任一温度值。

4.按照权利要求1或2或3所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：管式炉为自动控温管式炉。

5.按照权利要求1或2或3所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：基体为石英、硅片、金刚石、金属、金属氧化物等耐高温材料。

6.按照权利要求1或2或3所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：镀膜技术采用磁控溅射的方法或电子束蒸发的方法。

7.按照权利要求1或2或3所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：惰性气体为氩气或氮气。

8.按照权利要求1或2或3所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：惰性气体的流量为100～600 sccm。

9.按照权利要求1或2或3所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于氢气的流量为100～500 sccm。

10.按照权利要求1或2或3所述增强金属薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：化学修饰中全氟四氢葵烷基三氯硅烷的正己烷溶液的浓度为0.1～0.5 mol/l。