[发明专利]氩气的提纯方法及提纯装置

权利要求书

1.氩气的提纯方法，该方法是对至少含有氧、氢、一氧化碳和氮作为杂质的氩气进行提纯的方法，

其特征在于，判断所述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中的氢及一氧化碳的全部进行反应所需的氧的设定量，在所述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧以使该氧量超过所述设定量，然后使用第1催化剂使所述氩气中的一氧化碳及氢与氧进行反应，以残留氧的状态生成二氧化碳和水，然后添加一氧化碳以使所述氩气中的一氧化碳量超过与残留的全部氧进行反应所需的一氧化碳的设定量，然后通过使用第2催化剂使所述氩气中的氧与一氧化碳进行反应，以残留一氧化碳的状态生成二氧化碳，然后使所述氩气中至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法被吸附剂吸附，

所述第1催化剂和第2催化剂中的至少一方为钌催化剂，使用所述钌催化剂时的反应温度在200℃以下。

2.如权利要求1所述的氩气的提纯方法，其特征在于，使用所述钌催化剂时的反应温度在150℃以下。

3.如权利要求2所述的氩气的提纯方法，其特征在于，使用所述钌催化剂时的反应温度在100℃以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的氩气的提纯方法，其特征在于，作为用于所述变压吸附法的所述吸附剂，使用CaA型沸石。

5.如权利要求1～3中任一项所述的氩气的提纯方法，其特征在于，作为用于所述变压吸附法的所述吸附剂，使用活性氧化铝和X型沸石。

6.如权利要求1～3中任一项所述的氩气的提纯方法，其特征在于，在通过所述变压吸附法进行吸附之后，使所述氩气中的氮通过-10℃～-50℃下的变温吸附法被吸附剂吸附。

7.如权利要求4所述的氩气的提纯方法，其特征在于，在通过所述变压吸附法进行吸附之后，使所述氩气中的氮通过-10℃～-50℃下的变温吸附法被吸附剂吸附。

8.如权利要求5所述的氩气的提纯方法，其特征在于，在通过所述变压吸附法进行吸附之后，使所述氩气中的氮通过-10℃～-50℃下的变温吸附法被吸附剂吸附。

9.氩气的提纯装置，该装置是对至少含有氧、氢、一氧化碳和氮作为杂质的氩气进行提纯的装置，

其特征在于，具备导入所述氩气的第1反应器、能够在导入所述第1反应器的氩气中添加氧的氧供给器、导入从所述第1反应器流出的氩气的第2反应器、能够在导入所述第2反应器的氩气中添加一氧化碳的一氧化碳供给器、和导入从所述第2反应器流出的氩气的吸附装置，

所述第1反应器中收纳有使所述氩气中的一氧化碳及氢与氧进行反应的第1催化剂，所述第2反应器中收纳有使所述氩气中的氧与一氧化碳进行反应的第2催化剂，所述第1催化剂和所述第2催化剂中的至少一方为钌催化剂，所述吸附装置具有使所述氩气中至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法而吸附的PSA单元。

10.如权利要求9所述的氩气的提纯装置，其特征在于，所述吸附装置还具有使从所述PSA单元流出的所述氩气中的氮通过-10℃～-50℃下的变温吸附法而吸附的TSA单元。