[发明专利]光斑减少装置以及投影仪有效
申请号: | 201110296300.5 | 申请日: | 2011-09-27 |
公开(公告)号: | CN102436074A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 菅彰信 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G02B27/48 | 分类号: | G02B27/48;G02B27/28;G03B21/20;G03B21/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;郭凤麟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光斑 减少 装置 以及 投影仪 | ||
1.一种光斑减少装置,其特征在于,
具有:
偏振光分离元件,其具有将入射光分离为具有第一成分的第一光和具有第二成分的第二光的偏振光分离部,并分别向不同的方向出射所述第一光和所述第二光;
第一反射部件,其对从所述偏振光分离元件出射的所述第一光进行反射,再入射到所述偏振光分离元件;
第一变换部件,其被配置在所述第一反射部件和所述偏振光分离元件之间,将通过所述第一反射部件反射的第一光变换为具有所述第二成分的第三光;
第二反射部件,其对所述再入射后从所述偏振光分离元件出射的所述第三光进行反射,再次入射到所述偏振光分离元件;以及
第二变换部件,其被配置在所述第二反射部件和所述偏振光分离元件之间,将从所述偏振光分离元件出射的第三光变换为具有所述第一成分的第四光,
所述偏振光分离元件向同一方向出射所述第二光和所述第四光。
2.根据权利要求1所述的光斑减少装置,其特征在于,
分别对所述第一反射部件、所述第一变换部件、所述第二反射部件以及所述第二变换部件垂直入射入射光。
3.一种光斑减少装置,其特征在于,
具有两个权利要求1或2中所述的光斑减少装置以及相位板,
使从第一光斑减少装置出射到所述同一方向的所述第二光以及所述第四光经由所述相位板入射到第二光斑减少装置。
4.根据权利要求3所述的光斑减少装置,其特征在于,
从所述第一光斑减少装置中的所述第一反射部件以及所述偏振光分离部之间的第一空气换算长度与所述第二反射部件以及所述偏振光分离部之间的第二空气换算长度的和中、减去所述第二光斑减少装置中的所述第一反射部件以及所述偏振光分离部之间的第一空气换算长度与所述第二反射部件以及所述偏振光分离部之间的第二空气换算长度的和而得的差的绝对值大于所述入射光的相干长度的一半。
5.根据权利要求4所述的光斑减少装置,其特征在于,
在所述第一光斑减少装置和所述第二光斑减少装置之间,使偏振光分离元件的材质或尺寸、所述第一反射部件以及所述偏振光分离元件的间隔、和所述第二反射部件以及所述偏振光分离元件之间的间隔中的至少一个不同来使产生所述差。
6.根据权利要求3所述的光斑减少装置,其特征在于,
在所述第一光斑减少装置和所述第二光斑减少装置之间,所述第一反射部件、所述第一变换部件、所述第二反射部件以及所述第二变换部件分别被形成为一体化结构。
7.根据权利要求1所述的光斑减少装置,其特征在于,
还具有第一半透明反射镜部件,该第一半透明反射镜部件被配置在所述第一反射部件和所述偏振光分离元件之间,在与所述第一反射部件之间多次反射所述第一光。
8.根据权利要求7所述的光斑减少装置,其特征在于,
分别对所述第一反射部件、所述第一变换部件、所述第二反射部件以及所述第二变换部件垂直入射入射光。
9.根据权利要求7或8所述的光斑减少装置,其特征在于,
还具有第二半透明反射镜部件,该第二半透明反射镜部件被配置在所述第二反射部件和所述第二变换部件之间,在与所述第二反射部件之间多次反射所述第三光。
10.根据权利要求9所述的光斑减少装置,其特征在于,
所述第一反射部件和所述第一半透明反射镜部件之间的第一空气换算长度、所述第二反射部件以及所述第二半透明反射镜部件之间的第二空气换算长度分别大于所述入射光的相干长度的一半。
11.一种光斑减少装置,其特征在于,
具有两个权利要求7或8中所述的光斑减少装置、以及第三变换部件,该第三变换部件在具有所述第二成分的所述第二光和具有所述第一成分的所述第四光之间进行成分变换,
使从第一光斑减少装置出射到所述同一方向的所述第二光以及所述第四光经由所述第三变换部件入射到第二光斑减少装置。
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