[发明专利]一种激光调阻机光点定位及扫描控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种激光调阻机光点定位及扫描控制装置。

背景技术

激光调阻，是一种修调电阻阻值的工艺。其原理是：当高功率激光光束撞击厚膜或薄膜电阻材料表面时，光束撞击处的电阻材料介质气化，使电阻阻值升高。激光调阻机就是利用此原理，对电阻进行修调，得到符合阻值精度要求的电阻的装置。

现有技术中，激光调阻机在使用时，都是将PC机作为激光调阻机主机。PC主机上安装有激光调阻机的光点定位及扫描控制驱动程序及硬件控制电路。PC主机通过软件程序及硬件控制电路，实现对激光调阻机的激光扫描头的控制。

但是，目前主机操作系统大多为Windows 2000和Windows XP，属于多进程操作系统。当主机在运行激光调阻应用程序时，同时会运行操作系统程序。由于系统资源动态变化和系统程序设置自动化(例如执行自动备份程序等)，往往在执行光点定位及扫描控制驱动程序时，会出现激光调阻应用程序运行不连续或停顿，造成激光扫描时快时慢(非线性，特别是当系统有多个应用程序执行时，激光扫描明显变慢和不稳定)。与此同时，由于采用软件驱动程序，也使得激光扫描速度降低，最终表现为激光调阻效率的低下。此外，激光光点定位及扫描完全由软件计算实现(包括扫描长度的判断控制)，无法实现与测试、激光开关的高速同步(激光扫描无同步脉冲)。

发明内容

本发明的目的是提供一种激光调阻机光点定位及扫描控制装置，能够提高激光调阻机的调阻效率，并且使激光扫描线性化。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种激光调阻机光点定位及扫描控制装置，包括：第一方向激光光点定位及扫描控制电路、第二方向激光光点定位及扫描控制电路、外部EST总线连线及通用阵列逻辑器件；所述第二方向垂直于所述第一方向；

所述第一方向激光光点定位及扫描控制电路，用于控制激光调阻机的激光扫描头进行第一方向上的光点定位及扫描；

所述第二方向激光光点定位及扫描控制电路，用于控制激光调阻机的激光扫描头进行第二方向上的光点定位及扫描。

优选的，所述第一方向激光光点定位及扫描控制电路包括：

同步计数器、数模转换器、运放电路和异或门电路；

所述异或门电路，与所述同步计数器相连，用于接收激光调阻机的激光调阻控制单元输出的激光扫描方向信号和激光调阻同步扫描脉冲；所述同步计数器与所述数模转换器相连；所述数模转换器与所述运放电路相连。

优选的，所述同步计数器为4个4位同步计数器。

优选的，所述数模转换器为16位数模转换器。

优选的，所述4个4位同步计数器之间构成级联。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

通过采用硬件电路替代现有技术中的软件驱动程序，控制激光调阻机的激光扫描头进行光点定位及扫描，能够提高激光调阻机的调阻效率，并且使激光扫描线性化。此外，通过硬件电路使激光光点扫描实现与测试、激光开关的高速同步(激光扫描同步)。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明所公开的激光调阻机光点定位及扫描控制装置结构图；

图2为第一方向激光光点定位及扫描控制电路第一部分电路图；

图3为第一方向激光光点定位及扫描控制电路第二部分电路图；

图4为4位同步+/-计数器的引脚功能图及时序图；

图5为第二方向激光光点定位及扫描控制电路第一部分电路图；

图6为第二方向激光光点定位及扫描控制电路第二部分电路图；

图7为EST总线连线及通用阵列逻辑(Generic Array Logic，GAL)器件电路图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。