[发明专利]物品输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及物品输送装置，所述物品输送装置在沿着顶棚侧的导引轨道移动自如的移动体上自如保持物品的物品保持部向位置接近于上述移动体的上升位置和比该上升位置靠下方侧的下降位置升降自如地装备，在上述移动体上形成用来收容由位于上述上升位置的上述物品保持部保持的物品的收纳空间，在该收纳空间的下端部区域中形成有能够进行上述上升位置与上述下降位置之间的上述物品保持部的升降的开口部，具备通过空气净化用过滤器将净化空气向上述收纳空间内通风的净化空气通风机构。

背景技术

上述那样的物品输送装置在从输送源的物品输送部位向输送目的地的物品输送部位输送物品的情况下，首先，移动体移动到对应于输送源的物品输送部位的停止位置，使物品保持部从上升位置下降到下降位置，位于下降位置的物品保持部从物品输送部位接受物品。然后，物品输送装置使物品保持部从下降位置上升到上升位置，一边由位于上升位置的物品保持部保持物品，一边使移动体移动到对应于输送目的地的物品输送部位的停止位置，使物品保持部从上升位置下降到下降位置，位于下降位置的物品保持部向输送目的地的物品输送部位交付物品。

这样，物品输送装置通过进行借助移动体的移动及物品保持部的升降，进行多个物品输送部位之间的物品输送。这样的物品输送装置例如为了在洁净室内在多个物品输送部位之间输送物品而使用，物品输送部位为对物品进行各种处理的物品处理部。因而，对于物品，希望在其输送中也维持清洁的状态。

所以，在以往的物品输送装置中，在移动体上形成将由位于上升位置的物品保持部保持的物品的周围覆盖的收纳空间，在该收纳空间内具备通过空气净化用过滤器通风净化空气的净化空气通风机构（例如参照专利文献1）。由此，在使物品保持部位于上升位置而进行通过移动体的移动的情况下，对收纳在收纳空间中的物品通风净化空气，将输送中的物品保持为清洁的状态。

在上述专利文献1所记载的装置中，收纳空间形成为矩形状，作为净化空气通风机构，具备具有送风扇和由该送风扇生成的空气流通过的空气过滤器的洁净单元。并且，洁净单元配设为，使通过了空气过滤器的清洁的空气从收纳空间的一侧面（移动体的行驶方向的前方侧的一侧面）的大致整个区域向收纳空间内吹出。此外，为了对收纳空间内的全部物品供给清洁的空气流，在收纳空间中具备将清洁的空气流引导到与洁净单元相反侧的面的整流板，并且在收纳空间中，在洁净单元侧的面上，在上下方向上隔开间隔具备多个调整清洁的空气流的流动方向的翅片。

专利文献1：特许第3226017号公报

在上述那样的物品输送装置中，通过使物品保持部在上升位置与下降位置之间升降，进行物品处理部等的物品输送部位与物品保持部之间的物品的授受（即交接）。因而，在收纳空间的下端部，形成有能够进行上升位置与下降位置之间的物品保持部的升降的开口部。为此，有尘埃从收纳空间的外部通过开口部侵入到收纳空间内的情况，有该尘埃附着到收纳在收纳空间内的物品上的情况。

所以，在上述专利文献1所记载的装置中，通过用多个翅片调整清洁的空气流的流动方向而形成将开口部遮蔽的空气帘，防止尘埃从收纳空间的外部通过开口部侵入到收纳空间内。但是，例如即使在空气流中仅发生了稍微的紊乱，尘埃也有可能通过开口部侵入到收纳空间内。因而，仅通过形成空气帘，难以防止尘埃通过开口部向收纳空间内侵入。

此外，在使输送对象的物品为例如收纳有半导体或液晶显示器面板等曝光用的分划板（reticle）的分划板用盒的情况下，如果氨或二氧化硫等物质通过开口部侵入到收纳空间内、该物质附着到分划板用盒上，则在分划板上发生称作薄雾（haze）的模糊（即分划板变得不透明），有可能给分划板的品质带来不良影响。所以，要求防止氨或二氧化硫等物质附着在分划板用盒上，但在上述专利文献1所记载的装置中，仅形成空气帘，所以难以防止氨或二氧化硫等物质从开口部侵入到收纳空间内。

以下，对如果氨或二氧化硫等物质附着到分划板用盒上则发生薄雾（模糊）这一点加以说明。