[发明专利]工件定位粘合装置有效
申请号: | 201110292155.3 | 申请日: | 2011-09-30 |
公开(公告)号: | CN102320083A | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 宋亚尼;陈琳;彭文;杨蜀;罗恩富 | 申请(专利权)人: | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 吴彦峰;钱成岑 |
地址: | 614200 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工件 定位 粘合 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种硅片加工线切割工件准备用辅助装置,尤其涉及一种工件定位粘合装置。
背景技术
太阳能、半导体级硅片加工过程中,特别是太阳能硅片加工,多数是采用多线切割设备进行切片。为了达到较高的切割效率和效益,力求使多线切割机以合理的结构设计、较高的运动及位置精度、有效的控制及监控功能、较大的适应性来实现。
切割工件的准备作为晶棒切片前的主要作业环节之一,主要包括工件连接件与切割垫块的粘合、工件垫块与工件的粘合、挟持导轨与工件连接件的固定等作业过程。工件对中的准确性、粘接的牢固性、胶层的厚度及均匀性等对切割质量存在直接的影响,另外,操作的便捷性在规模化加工过程中的作用也不容被忽视的。因此,切割工件的准备尤其是工件的定位粘合过程需要采用特定的辅助装置加以完成。
目前,多线切割设备的配套工件定位粘合装置的结构如图1所示:该工件定位粘合装置包括工件连接件放置底座1、工件连接件定位螺杆2、切割垫块定位螺杆3、定位靠板4和工件固定加压模块5。使用时,如图2所示:将工件连接件放在工件连接件放置底座1上,工件连接件上放置切割垫块,在切割垫块上放置工件,最后用切割垫块定位螺杆3、工件连接件定位螺杆2以及工件固定加压模块5来完成工件连接件与切割垫块、切割垫块与工件之间的定位,并且在工件连接件与切割垫块、切割垫块与工件之间采用树脂作为粘合剂进行粘合。
现有的工件定位粘合装置虽然可将工件连接件与切割垫块、切割垫块与工件固定,但仍然存在以下几点不足:
1、位于最底层的工件连接件采用两点式定位螺杆进行定位,工件连接件定位的准确性直接影响到工件的整体定位,由于螺杆具有旋转可动性,该定位方法易造成整体定位的不精确;
2、整个装置的操作平台与水平面之间的夹角较大,各粘合步骤中采用的树脂粘合剂会向较低的一方流动,造成最终的胶层厚度均匀性不一致,切割垫块与工件之间的胶层厚度不一致将会影响切割质量;
3、所采用的工件固定加压模块需通过紧固顶部的螺帽予以施压,以保证粘接的牢固,由于人为旋转紧固螺帽很难保持一致的松紧程度,因此,会导致最终的胶层厚度不可控及厚度均匀性不一致;
4、完成工件的粘合并固定加压后,需对切割垫块与工件粘合缝边缘溢流出的粘合剂进行清洁,由于该装置采用靠板对工件定位,工件固定加压后,只有通过后部的方孔进行清洁,清洁方便;
5、采用该装置一同完成工件连接件与切割垫块、切割垫块与工件之间的定位粘合,单次只能完成一锭工件的粘接作业,操作的便捷性不足,工作效率不高。
发明内容
本发明的目的在于:提供一种设计更加合理、操作更加便捷的工件定位粘合装置,以保证切割工件更精确的对中粘合、提高工作效率,从而能有效的解决上述现有技术中存在的问题。
本发明目的通过下述技术方案来实现:一种工件定位粘合装置,包括工件连接件与切割垫块粘合装置和工件垫块与工件粘合装置,所述工件连接件与切割垫块粘合装置包括第一放置底座、第一定位靠梯和切割垫块定位片,所述第一定位靠梯与第一放置底座所在平面垂直相交为一体,所述切割垫块定位片所在平面与第一放置底座平行;所述工件垫块与工件粘合装置包括第二放置底座、第二定位靠梯、可翻转工件固定围杆、拉力杆、不可动工件固定围杆和工件定位靠板;所述第二定位靠梯与第二放置底座所在平面垂直相交为一体,第二定位靠梯的两侧面及背面分别固定一与之相垂直的竖块,所述可翻转工件固定围杆的两端与两侧竖块的上端旋接,拉力杆的一端与背面竖块的上端旋接,另一端与可翻转工件固定围杆相扣,所述不可动工件固定围杆固定在两侧及背面竖块的上端且与第二放置底座平行,工件定位靠板与不可动工件固定围杆螺纹连接。
作为优选方式,包括竖向螺杆,所述切割垫块定位片、第一定位靠梯和第一放置底座由螺杆固连。
作为进一步优选方式,工件连接件与切割垫块粘合装置中还包括第一定重压块。
作为优选方式,可翻转工件固定围杆上设有贯穿的工件固定螺杆。
作为进一步优选方式,所述工件固定螺杆穿过可翻转工件固定围杆的端部设有尼龙帽。
作为进一步优选方式,竖块的上端具有控制可翻转工件固定围杆翻转角度的平面平台。
作为进一步优选方式,工件连接件与切割垫块粘合装置中还包括第二定重压块。
与现有技术相比,本发明的有益效果:
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