[发明专利]长晶炉及其动作方法

权利要求书

1.一种长晶炉，其特征在于其包括：

一上盖，借由一上盖移动机构将该上盖水平移动；

一中炉体，借由一中盖移动机构将该中炉体垂直地移动；以及

一下炉体，借由一下盖移动机构将该下炉体移出该长晶炉的下方，且用于承载一坩锅；

其中，当该上盖、该中炉体与该下炉体结合而成该长晶炉时，可将放置于该坩锅的一硅原料长晶为一硅碇，且该下炉体移动机构将该下炉体移出该长晶炉下方，让成长于该坩埚内的该硅碇可被取出。

2.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于其更包括：

一第一运输机构，该上盖移动机构通过该第一运输机构带动该上盖移动；

一移动装置，通过该移动装置可以让该上盖与该中炉体分离；以及

一第二运输机构，该下炉体移动机构通过该第二运输机构移动该下炉体。

3.根据权利要求2所述的长晶炉，其特征在于该第一运输机构与该第二运输机构为滑轨，该上盖移动机构的一第一导轨轮组与该下炉体移动机构的一第二导轨轮组可分别在该第一运输机构与该第二运输机构上滑动。

4.根据权利要求2所述的长晶炉，其特征在于该上盖移动机构带动该上盖在该长晶炉上方与一维修区上方之间移动。

5.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于该下炉体更包括：

一底盖装置，由多个闸门所构成；

多个闸门驱动器，分别连接该多个闸门；以及

多个加热装置，该多个加热装置可分别设置于该上盖、该中炉体与该下炉体上，该加热装置用于加热该坩锅；

其中，当完成将该硅原料成长为该硅碇之后，可操控该底盖装置，使得该多个闸门驱动器同时打开该多个闸门，以达到一降温作用。

6.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于该中炉体移动机构包括：

至少一马达；

至少一传动轴，连接于该马达；以及

至少一驱动装置，分别连接该中炉体与该传动轴；

其中该马达转动该传动轴带动该驱动装置移动，该驱动装置接着带动该中炉体移动。

7.一种长晶炉的动作方法，其特征在于其至少包含：

借由一下炉体移动机构，在一长晶炉的下方移动一下炉体；

借由一中炉体移动机构垂直移动一中炉体，使其与该下炉体结合与分离；

借由一上盖移动机构移动一上盖，使得该上盖可以在一维修部上方与该长晶炉上方之间移动；

结合该下炉体、该中炉体与该上盖以启动一硅原料长晶；以及

分离该下炉体与该中炉体，取出成长于一坩埚内的一硅碇。

8.根据权利要求7所述的长晶炉的动作方法，其特征在于其更包含打开一底盖装置的多个闸门以散逸在该长晶炉内的高温。

9.根据权利要求7所述的长晶炉的动作方法，其特征在于其更包含：

运转该中炉体移动机构的至少一马达以驱动至少一传动轴；

转动该至少一传动轴以带动该中炉体；以及

移动该下炉体离开该长晶炉下方，以方便该坩锅的移出。

10.根据权利要求7所述的长晶炉的动作方法，其特征在于其更包含借由一移动装置移动该上盖，让该上盖与该中炉体分离。