[发明专利]一种实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法

权利要求书

1.一种实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：根据被测光学薄膜元件的反射率或透射率随温度变化的规律，拟合获得探测光波波长位置反射率或透射率与温度变化之间的线性关系A，所述线性关系A的表达式为：

R＝k₁ΔT+R₀，

其中R为被测光学薄膜元件的反射率或透射率，R₀为初始温度无变化时的反射率或透射率，ΔT为温度变化值，k₁为比例系数；

S2：采用一束激光作为加热光束照射到被测光学薄膜元件上，选择一束波长靠近所述的光学薄膜元件反射或透射带边缘的(功率毫瓦级或更低的低功率)连续激光作为探测光束，与加热光束照到被测光学薄膜元件的相同或相邻位置，由光电探测器监测被测光学薄膜元件的反射或透射的全部探测光强度的变化，拟合获得反射率或透射率与加热光束功率之间的线性关系B，所述线性关系B的表达式为：

R＝k₂P+R₀，

其中，P为加热光功率，k₂为比例系数；

S3：根据线性关系A和线性关系B，得到温度变化与加热光束功率之间的线性关系C，所述线性关系C为：

ΔT＝(k₂/k₁)·P，

其中，k₂/k₁为比例系数；

S4：将已知光学和热学参数的光学薄膜元件作为已知样品，测量已知样品的表面加热光斑大小以及对加热光束的反射率或透射率，从而得到已知样品的温度变化与加热光束功率之间的线性关系D，所述线性关系D的表达式为：

ΔT＝k₃P，

其中，k₃为比例系数；

S5：通过调整已知样品对加热光束的吸收率，使线性关系D与线性关系C相同，即比例系数k₃和比例系数k₂/k₁相同，获得被测光学薄膜元件对加热光束的吸收率。

2.根据权利要求1所述的实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，其特征在于：所述步骤S1中通过窄带滤色片领域分析光谱温度性的高桥模型获得反射率或透射率与温度变化的线性关系A。

3.根据权利要求2所述的实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，其特征在于：所述步骤S2中的激光为强度周期性调制的(功率瓦级或以上的高功率)连续激光光束或脉冲激光光束。

4.根据权利要求3所述的实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，其特征在于：所述加热光功率不同时的被测光学薄膜元件的反射率或透射率实验中通过以下公式来获得：

R=(Vac+VdcVdc)·R0,]]>

其中，V_ac表示为实验测到的交变信号幅值，V_dc表示为实验测到的直流信号幅值。

5.根据权利要求4所述的实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，其特征在于：所述步骤S4中测量已知样品的表面加热光斑大小以及对加热光束的反射率或透射率，然后根据热传导方程获得样品表面温度的变化。

6.根据权利要求5所述的实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，其特征在于：所述光学薄膜吸收损耗为弱吸收状态，保证各种关系的线性度。