[发明专利]诊断机构有效
申请号: | 201110288470.9 | 申请日: | 2011-09-26 |
公开(公告)号: | CN102445939A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 山口裕二;山口正男;长井健太郎;氷见知之 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | G05B23/02 | 分类号: | G05B23/02;G01F25/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 周善来;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 诊断 机构 | ||
1.一种诊断机构,其特征在于,所述诊断机构诊断与流量传感器有关的异常,所述流量传感器测量流过流道的流体的流量,
所述诊断机构包括:
流量控制部,控制设置在所述流道上的流量控制阀的开度,使得所述流量传感器输出的测量流量值成为目标流量值;
检定值输出部,将从比所述流量传感器位于上游的所述流道被关闭开始到所述测量流量值和所述目标流量值实质上基本相等的状态结束为止的至少一部分期间作为诊断期间,并输出检定值,该检定值是与所述诊断期间的所述测量流量值的时间积分有关的值;以及
诊断部,通过比较所述检定值和预先规定的规定值,来诊断有无与所述流量传感器有关的异常。
2.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,
所述流道包括主流道以及传感器流道,该传感器流道从所述主流道分支后再与所述主流道汇合,
所述流量传感器是热式流量传感器,该热式流量传感器在所述传感器流道内具有流量测量机构,该流量测量机构测量所述流体的流量。
3.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,所述流量传感器是差压式流量传感器。
4.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,所述检定值是在所述诊断期间对所述测量流量值进行时间积分后得到的流量积分值。
5.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,所述检定值是所述诊断期间的长度。
6.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,所述检定值输出部根据所述测量流量值和所述目标流量值之间的偏差,来检测所述诊断期间的结束时点。
7.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,所述检定值输出部根据所述流量控制阀的开度成为完全打开的开度或者所述流量控制阀的开度成为规定的诊断结束开度,来检测所述诊断期间的结束时点。
8.根据权利要求7所述的诊断机构,其特征在于,所述诊断结束开度是比所述流量控制阀完全打开的开度小规定量的开度。
9.根据权利要求7所述的诊断机构,其特征在于,
所述检定值输出部能够控制设置在所述流量传感器上游的阀,
所述检定值输出部在所述流量控制阀的开度成为所述诊断结束开度的时点使所述设置在所述流量传感器上游的阀打开。
10.根据权利要求2所述的诊断机构,其特征在于,当所述检定值比所述规定值大时,所述诊断部诊断为是因所述主流道堵塞导致的异常,当所述检定值比所述规定值小时,所述诊断部诊断为是因所述传感器流道堵塞导致的异常。
11.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,
所述诊断机构还包括压力传感器,该压力传感器测量所述流体的压力,并输出得到的测量压力值,
所述检定值输出部根据所述测量压力值对所述检定值进行修正。
12.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,
所述诊断机构还包括温度传感器,该温度传感器测量所述流体的温度,并输出得到的测量温度,
所述检定值输出部根据所述测量温度对所述检定值进行修正。
13.根据权利要求1所述的诊断机构,其特征在于,所述规定值是在所述流量传感器的测量输出值正常时所述检定值输出部输出的检定值。
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