[发明专利]三自由度一体化粘滑式直线定位装置

权利要求书

1.一种三自由度一体化粘滑式直线定位装置，其特征在于：该装置包括承载盖(1)、驱动单元(2)和基台(3)，所述的承载盖(1)包括承载板(1-1)和与驱动单元(2)相配合的盖套(1-2)，盖套(1-2)固接在承载板(1-1)的板面上，所述的驱动单元(2)包括第一压块(2-2)、第二压块(2-1)、弹性驱动座(2-6)、压电陶瓷驱动器(2-15)、导向柱(2-16)、触足(2-14)、位移板(2-7)、预紧压板(2-9)和多个滚珠(2-8)，所述的弹性驱动座(2-6)为具有一个方形空腔(2-5)的驱动座，第一压块(2-2)和第二压块(2-1)均设置在弹性驱动座(2-6)的上弹性板(2-4)的上方，第二压块(2-1)和第一压块(2-2)之间夹持有导向柱(2-16)且第二压块(2-1)和第一压块(2-2)可拆卸连接，导向柱(2-16)的下端面与弹性驱动座(2-6)的上弹性板(2-4)的上端面连接，弹性驱动座(2-6)的方形空腔(2-5)内沿导向柱(2-4)的轴向由上至下依次设有压电陶瓷驱动器(2-15)、触足(2-14)、位移板(2-7)和预紧压板(2-9)，压电陶瓷驱动器(2-15)的上端面与弹性驱动座(2-6)的上弹性板(2-4)的下端面连接，压电陶瓷驱动器(2-15)的下端面与触足(2-14)的上端面连接，触足(2-14)的下端面与位移板(2-7)的上端面连接，预紧压板(2-9)的上端面上设有多个盲孔(2-18)，每个盲孔(2-18)内设有一个滚珠(2-8)，位移板(2-7)的下端面与多个滚珠(2-8)的外端面滑动接触，预紧压板(2-9)的下端面与弹性驱动座(2-6)的下弹性板(2-13)的上端面连接，位移板(2-7)的长度方向的两端设置在弹性驱动座(2-6)的方形空腔(2-5)的外部且分别与基台(3)可拆卸连接，下弹性板(2-13)的下部设有一个第二空腔(2-10)，承载盖(1)与第二压块(2-1)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的三自由度一体化粘滑式直线定位装置，其特征在于：所述的触足(2-14)的形状为平板形或半球形。

3.根据权利要求1或2所述的三自由度一体化粘滑式直线定位装置，其特征在于：所述的盲孔(2-18)的个数为四个，四个盲孔(2-18)呈十字形设置在预紧压板(2-9)的上端面上，四个盲孔(2-18)的中心所形成的四边形的边长相等。

4.根据权利要求1所述的三自由度一体化粘滑式直线定位装置，其特征在于：所述的基台(3)包括基板(3-2)和箱体(3-1)，基板(3-2)为中心开口的板，箱体(3-1)为由四个凹槽板(3-1-1)焊接而成的且两端开口的箱体，箱体(3-1)中相对的两个凹槽板(3-1-1)的两个凹槽正对设置，其中一组正对设置的两个凹槽板(3-1-1)的内板面上各固接有一个凸耳(3-1-2)，每个凸耳(3-1-2)的中部设有一个第一孔(3-1-3)，箱体(3-1)的一个开口端固接在基板(3-2)的开口处，基板(3-2)的板面上位于箱体(3-1)外侧的四个拐角处分别设有一个第二孔(3-2-1)。

5.根据权利4所述的三自由度一体化粘滑式直线定位装置，其特征在于：位移板(2-7上)位于方形空腔(2-5)的外部的两端分别设有一个第二螺纹通孔(2-19)，位移板(2-7)与基台(3)通过装在相应凸耳(3-1-2)上的第一孔(3-1-3)并与第二螺纹通孔(2-19)螺纹连接的第二螺钉可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的三自由度一体化粘滑式直线定位装置，其特征在于：所述的第一压块(2-2)为端面中部具有V形面的压块，所述导向柱(2-16)的外圆周侧面具有一个沿导向柱(2-16)轴向的平面，该导向柱上的平面贴靠在第一压块(2-2)的V形面的任意一个端面上。

7.根据权利要求6所述的三自由度一体化粘滑式直线定位装置，其特征在于：所述的第二压块(2-1)为端面中部具有U形面的压块，导向柱(2-16)的外圆周侧面置于第二压块(2-1)的U形面内。