[发明专利]一种有机电致发光器件及其制备方法

权利要求书

1.一种有机电致发光器件阳极，其特征在于，由多个p型多晶硅层和金属硅化物材料层叠加构成。

2.如权利要求1所述有机电致发光器件阳极，其特征在于，包括两层p型多晶硅层和一层金属硅化物层，其中金属硅化物层位于两层p型多晶硅之间。

3.权利要求1所述的有机电致发光器件阳极的制备方法，步骤包括：

1)在透明衬底上沉积一层或多层阻挡层；

2)在阻挡层上依次沉积一个或多个p型非晶硅层和金属层；

3)在400-550℃氮气保护条件下，进行5-30分钟退火处理，形成p型多晶硅和金属硅化物叠加结构。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤1)中所述沉积的阻挡层总厚度为50-300纳米。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤2)中所述沉积金属层用于诱导非晶硅晶化，是Fe、Au、Ni、Al、Ti、Pt中的任意一种，金属层的总厚度为1-50纳米，沉积p型非晶硅层的总厚度为5-500纳米。

6.如权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤2)中沉积p型非晶硅层所用的硅靶电阻率范围为0.0001-1000Ω·cm。

7.如权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤1)和步骤2)中所述沉积方法包括但不限于电子束蒸发、磁控溅射、脉冲激光沉积、化学气相沉积中的任意一种。

8.一种有机电致发光器件，包括反射镜、透明衬底、阳极层、空穴传输层、发光层、电子传输层和透光阴极层，其特征在于，所述阳极由一个或多个p型多晶硅层和金属硅化物材料层叠加构成。