[发明专利]使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜

说明书

技术领域

  本方法是将薄膜太阳能中的技术核心PECVD的传片技术，当TCO玻璃从大气中准备传片至PECVD腔体内时，利用承载平台Carrier的顶升技术，让TCO玻璃先镶到Carrier内部，并随着Carrier传动至PECVD内进行镀膜，主因是当玻璃在进行硅薄膜时，需要相当均匀且平稳的高温环境下进行，若玻璃仅靠腔体本身加热，恐会造成温度不均，固使用特殊结构的Carrier来将玻璃镶入在内，可以使得玻璃本身除了可藉由腔体加热的辐射热之外，也可由Carrier所提供的传导热增加加热速度及均匀镀，可以让玻璃在制程前是均温状态下，当在镀膜时即可在TCO玻璃上得到均匀的硅薄膜，可以提高太阳能硅薄膜的稳定性。 

背景技术

  目前，业界对于薄膜太阳能电池中已有许多的研究，在制作核心PECVD时也有特殊的设计方式，主要是卧式以及直立式为主，当中在业界与学术界常使用的机台模组，是以卧式的设计居多，而在卧式设计中较少会将玻璃尺寸放大，主要是因为卧式结构的玻璃在加热时常会有加热不均或者是加热时玻璃易有翘曲的情形居多，但仍应有可解决之道。本发明主要就是要让TCO玻璃放置在平面的Carrier上，藉由Carrier材质可以提高玻璃在加热中达到均温，故在入口端设有一Carrier，当Robot夹取TCO玻璃准备传入到入口端时，其入口端的平面Carrier会开始作pin顶升，使得玻璃可以放入pin上端，随后当Robot离开入口端后，其pin下降，将整块TCO玻璃平放在Carrier上，而且在Carrier四边周围则有治具将玻璃完全固定住，使从外观看为将玻璃镶入到Carrier内，随后再传片进入到真空腔体内进行硅薄膜制程，此发明可以去除卧式PECVD在制程中常发生的玻璃加热不均且玻璃翘曲的问题，也可以让玻璃在最均匀的温度下制程硅薄膜，使能可以提高太阳能薄膜镀膜均匀稳定性。 

发明内容

    本发明主要目的是使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜。其系统主要包含入口端、入口端Carrier顶升、抽真空腔、P.I.N型半导体制程腔、出口端。在每个腔体内都设有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内则有加热装置、Showerhead气流孔及RF电极，以进行制程。而本发明Carrier顶升技术则是架设在入口端及出口端处，其入出口端除了有传动轮轴外，其Carrier上都设有pin装置，且Carrier四周围也都设有治具，以便能够固定住玻璃。当Robot将TCO玻璃从台车上夹取出来时，并准备送至入口端前，其入口端的平面Carrier即会将pin顶升，并让Robot可以送TCO玻璃到Carrier上的pin，由pin去支撑TCO玻璃，随后当Robot离开入口端后，其pin则开始下降，将TCO玻璃平放于Carrier上方，完成之后，其Carrier四周的治具则开始移动，压在玻璃的四周上，此时从外观看则像是玻璃被镶入到Carrier上，完成后即可将此Carrier传入到抽真空腔内，并随后进行P.I.N型半导体制程，当完成制程后，Carrier传到出口端，此时其治具同样会开始移动，使治具离开镀膜后玻璃，且pin也在此时开始顶升，将玻璃顶到适当位置，随后Robot再取片至台车上即完成。此发明的主要目的就是将玻璃镶入在Carrier内，不会受到加热时产生翘曲以及在制程时可以就由传导热以及辐射热而达到均温效果，如此可提高膜层加热均匀度，则可以提高太阳能硅薄膜电池效率。 

具体实施方式

  兹将本发明配合附图，详细说明如下所示：请参阅第1图，为本发明使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜流程图，由图中可知，当Robot从台车上取TCO玻璃至入口端，然后入口端的Carrier开始作pin顶升，接着玻璃放在pin上端之后，其Robot即离开入口端，随后Carrier的pin下降至平面carrier上，且其Carrier周围的治具会固定住玻璃，使其类似镶入的效果，随后玻璃传至抽真空腔、P.I.N半导体制程腔、完成制程后再到降温破真空腔内，结束后在出口端其Carrier治具会移动离开镀膜后玻璃，且pin会将玻璃再度顶升让Robot取片出去，即完成此发明，且制程后的玻璃也会是均匀状。