[发明专利]基于可控光束剖面形状与功率分布的双扫描三维激光刻蚀加工方法有效
| 申请号： | 201110283637.2 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN102357735A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈学康;吴敢;王瑞;杨建平;曹生珠;韦波 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一0研究所 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人： | 张英荷 |
| 地址： | 730000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 可控 光束 剖面 形状 功率 分布 扫描 三维 激光 刻蚀 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于可控光束剖面形状与功率分布的双扫描三维激光刻蚀加工方法，其特征在于：利用互为正交放置的两个声光偏转器，通过控制声光偏转器的激励波形与强度，使激光束按设定的方式进行小角度高频扫描，形成剖面形状和功率可控的等效激光光斑作为加工光斑，再用激光振镜系统引导加工光斑进行二次扫描，即在工件上形成相对应的三维微结构刻蚀剖面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一0研究所，未经中国航天科技集团公司第五研究院第五一0研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110283637.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：压方李兹线专用辊压设备
- 下一篇：一种铝合金电缆
