[发明专利]一种用于测量低波数拉曼信号的装置

权利要求书

1.一种用于测量低波数拉曼信号的装置，其特征在于，该装置包括：

激发光源(LS)；

体光栅带通滤光片(VGBF)，位于激光光路上，用于过滤掉激光的等离子线而纯化激光线，同时将激发光源(LS)发出的激光反射到第一体光栅陷波滤光片(VG1)；

第一体光栅陷波滤光片(VG1)，位于体光栅带通滤光片(VGBF)将激光反射后的光路上，将激光反射到显微物镜(OB1)；

显微物镜(OB1)，用于将由第一体光栅陷波滤光片(VG1)反射来的激光聚焦到样品(SMP)上来激发拉曼光谱信号；

第二体光栅陷波滤光片(VG2)和第三体光栅陷波滤光片(VG3)，位于样品拉曼信号光经显微物镜(OB1)收集并穿过体光栅陷波滤光片(VG1)之后的光路上；

三个支撑底座(BS1、BS2和BS3)，分别用来固定第一体光栅陷波滤光片(VG1)、第二体光栅陷波滤光片(VG2)和第三体光栅陷波滤光片(VG3)；

聚焦透镜(OB2)，用于将由第三体光栅陷波滤光片(VG3)透过来的拉曼信号汇聚入单光栅光谱仪(SPEC)的入口；以及

单光栅光谱仪(SPEC)，用于收集拉曼信号。

2.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的装置，其特征在于，所述体光栅带通滤光片(VGBF)的带宽小于10波数，衍射效率大于90％。

3.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的装置，其特征在于，所述第一体光栅带通滤光片(VG1)、第二体光栅陷波滤光片(VG2)和第三体光栅陷波滤光片(VG3)的带宽均小于10波数。

4.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的装置，其特征在于，所述第一体光栅带通滤光片(VG1)、第二体光栅陷波滤光片(VG2)和第三体光栅陷波滤光片(VG3)的衰减均大于99.9％。

5.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的装置，其特征在于，所述三个支撑底座(BS1、BS2和BS3)用于在水平方向和竖直方向精细地调节三个体光栅陷波滤光片的角度，将三个体光栅陷波滤光片的工作波长调节到与激发光波长一致。

6.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的装置，其特征在于，所述体光栅带通滤光片(VGBF)以及三个体光栅陷波滤光片(VG1、VG2和VG3)的工作波长与激发光源(LS)发出的激光波长相匹配。