[发明专利]图像传感器芯片的测试方法及其测试探针台有效
| 申请号： | 201110282305.2 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102435787A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 朱玉萍;岑刚 | 申请（专利权）人： | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉善县大*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图像传感器 芯片 测试 方法 及其 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种图像传感器芯片的测试方法，其特征是被测试图像传感器的芯片是由多个芯片组合组成晶圆的状态下进行的。
2.根据是权利要求1所述的图像传感器芯片的测试方法，其特征是所述的被测试图像传感器的芯片是在电性能测试后，经封装仍以晶圆的状态下进行测试的。
3.利用上述图像传感器芯片的测试方法1或2所设计的探针台，包括有可前后、左右水平移动的XY平台，在XY平台上安装有可上下运动的升降台，升降台上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶盘，在载晶盘的上方通过支撑架，悬空安装有探针卡，其特征是在载晶盘下方的升降台中设置有产生光线的光源。
4.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于所述光源设置在载晶盘下方的中心位置，且光源的轴心与探针卡的轴心重合。
5.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于所述的光源为LED阵列光源经凸镜焦聚后的光源。
6.根据权利要求5所述的探针台，其特征在于所述的光源相对于载晶盘设有上下移动的升降装置。
7.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于所述的光源为产生平行光线的光源。
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